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准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究

魏仁选

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文章导航 > 激光技术  > 2004 >  28(1): 85-87
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shu

准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究

  • 1.

    武汉理工大学, 光纤传感技术研究中心, 国家光纤传感技术工业性实验基地, 武汉, 430070

    • 作者简介: 魏仁选(1965- ),男,副研究员,博士,主要从事光纤传感技术与系统、光电子器件与激光微加工研究.E-mail:rxwei@mail.whut.edu.cn.
  • 基金项目:

    陕西省教育厅专项基金资助项目(00JK112)

  • 中图分类号: TG665

Relationship between etching identities and laser pulse parameters in excimer laser direct etching fabrication

  • 1.

    State Key Industrial Experiment Base of Fiber Optic Sensing Technology, Fiber Sensing Technology Research Center, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China

  • CLC number: TG665

  • 摘要: 以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用波长248nm的KrF准分子激光器,研究了准分子激光直写加工图形和激光脉冲数及脉冲能量之间的关系。实验证明,随着加工槽深度的增大,单个激光脉冲所烧蚀的深度逐渐减小,当达到一定的脉冲数时,所烧蚀槽的深度基本上保持不变。脉冲能量越大,刻蚀速率越大,其速率同样具有一个上限值。
    Abstract: KrF excimer laser, whose wavelength is 248nm, is directly used to ablate and etch glass material;the location of processed material is accurately controlled by a micro motion controlling system. The relationships between laser pulse parameters, the number and energy and characteristics of yielded grooves are investigated. It is shown that the ablation depth of a single laser pulse becomes smaller and smaller along with the increasing of laser pulse amount. Furthermore, the depth of the yielded grooves becomes constant when the laser pulses add up to a definite number. The more the energy of laser pulse the more the etching speed is. There is an upper limit for the etching speed.
  • [1] 楼祺洪,章琳.杭州师范学院学报(自然科学版), 2002, 1(1): 72～76.
    [2] 刘文波.准分子激光微加工应用研究.武汉工业大学硕士学位论文, 1997.3～4.
    [3]

    IHLEMANN J,RUBAHN K.Applied Surface Science,2000,154～155:587～592.
    [4]

    SMUK A Y,LAWANDY N M.Opt Commun,1998,156:297～299.
    [5]

    PAPAKONSTANTINOU P,VAINOS N A,FOTAKIS C.Applied Surface Science,1999(5):159～170.
  • [1] 龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 . 水辅助准分子激光微加工硅的实验研究. 激光技术, 2006, 30(6): 567-569.
    [2] 龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 , 柳海鹏 . 准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究. 激光技术, 2006, 30(3): 235-237.
    [3] 章琳 , 楼祺洪 , 魏运荣 , 董景星 , 李铁军 , 黄峰 . 准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究. 激光技术, 2002, 26(2): 94-96.
    [4] 祁恒 , 陈涛 . 高聚物生物芯片材料激光加工性能分析. 激光技术, 2005, 29(2): 138-141.
    [5] 陆宏 , 姜铃珍 , 耿完桢 , 洪晶 . 激光波长实时测量中的能量分析. 激光技术, 1997, 21(2): 115-119.
    [6] 白帆 , 戴玉堂 , 徐刚 , 崔建磊 . 基于157nm深紫外激光的蓝宝石基片微加工. 激光技术, 2010, 34(5): 636-639. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.O5.016
    [7] 李维来 , 李英 , 李伟 . 157nm激光刻蚀晶体光纤SiO2机理的研究. 激光技术, 2006, 30(6): 601-604.
    [8] 钱晓峰 , 陈涛 , 祁恒 . 准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究. 激光技术, 2007, 31(3): 262-264.
    [9] 于海娟 , 李港 , 陈檬 , 张丙元 . 飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响. 激光技术, 2005, 29(3): 304-307.
    [10] 王甦 , 李大义 , 陈建国 , 李焱 , 陆洋 , 周小红 , 卢玉村 . 微加工获得的F-P半导体激光器的光谱特性分析. 激光技术, 2000, 24(2): 102-106.
    [11] 李乾坤 , 刘学青 , 成荣 . 基于激光加工的玻璃透镜阵列制备. 激光技术, 2021, 45(2): 131-136. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.02.001
    [12] 王建中 , 史铁林 , 熊良才 . 飞秒激光实现微机电系统加工短流程工艺. 激光技术, 2008, 32(1): 88-91.
    [13] 王英 , 李玉华 , 王新林 , 廖常锐 , 陆培祥 . 飞秒激光加工不锈钢微型悬臂梁的工艺研究. 激光技术, 2010, 34(3): 347-350. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.03.017
    [14] 郭商勇 , 陈涛 , 刘世炳 . 提高准分子激光打孔质量的方法研究. 激光技术, 2006, 30(6): 625-627.
    [15] 叶震寰 , 楼祺洪 , 李红霞 , 董景星 , 魏运荣 . 准分子激光光束均匀技术. 激光技术, 2005, 29(2): 207-209,212.
    [16] 宋登元 . ArF准分子激光光刻的研究现状. 激光技术, 1999, 23(5): 288-291.
    [17] 陈星 , 游利兵 , 代甜甜 , 王宏伟 , 杨礼昭 , 程超 , 方晓东 . 308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究. 激光技术, 2020, 44(1): 100-107. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.01.018
    [18] 邓国庆 , 余吟山 . 准分子激光屈光矫正系统及实验研究. 激光技术, 2005, 29(4): 417-419,448.
    [19] 柳海鹏 , 周月豪 , 熊良才 , 史铁林 . 准分子激光直刻横向影响区实验研究. 激光技术, 2005, 29(2): 132-134.
    [20] 曹正林 , 沈建新 , 廖文和 . 准分子激光切削角膜与飞点扫描算法的研究. 激光技术, 2006, 30(6): 631-635.
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-03-28
  • 录用日期:  2003-06-18
  • 刊出日期:  2004-01-25

准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究

    作者简介: 魏仁选(1965- ),男,副研究员,博士,主要从事光纤传感技术与系统、光电子器件与激光微加工研究.E-mail:rxwei@mail.whut.edu.cn
  • 1. 武汉理工大学, 光纤传感技术研究中心, 国家光纤传感技术工业性实验基地, 武汉, 430070
  • 收稿日期: 2003-03-28
  • 录用日期: 2003-06-18
  • 网络出版日期: 2004-01-25
基金项目:  陕西省教育厅专项基金资助项目(00JK112)

摘要: 以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用波长248nm的KrF准分子激光器,研究了准分子激光直写加工图形和激光脉冲数及脉冲能量之间的关系。实验证明,随着加工槽深度的增大,单个激光脉冲所烧蚀的深度逐渐减小,当达到一定的脉冲数时,所烧蚀槽的深度基本上保持不变。脉冲能量越大,刻蚀速率越大,其速率同样具有一个上限值。

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