反射激光式超声测厚传感器及其应用

陈笑; 徐荣青; 沈中华; 陆建; 倪晓武

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反射激光式超声测厚传感器及其应用

陈笑 , 徐荣青 , 沈中华 , 陆建 , 倪晓武

文章导航 > 激光技术 > 2003 > 27(6): 557-559

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反射激光式超声测厚传感器及其应用

1.
南京理工大学应用物理系, 南京, 210094

作者简介: 陈笑,女,1977年2月出生.博士研究生.目前主要从事激光与物质相互作用的测试和机制方面的研揪.

基金项目:
国家自然科学基金;江苏省自然科学基金;教育部高校优秀青年教师奖励计划;激光技术国家重点实验室开放基金资助项目
中图分类号: TN247;TN249

Reflected laser ultrasonic sensor for testing thickness and its application

1.
Department of Applied Physics, Nanjing University of Science & Technology, Nanjing, 210094
CLC number: TN247;TN249

摘要: 研制了激光超声测厚传感器,并对其测试原理进行了讨论.该传感器具有高频响、频带宽、较高的灵敏度且易于调节.进而采用该传感器测试了由脉冲Nd:YAG激光在抛光的薄铁片上所激发的超声纵波.根据铁片背面对心处接收到的超声纵波及其回波波形,可以推算出样品薄板的厚度.理论和实验测试结果显示,该传感器的相对测量误差达0.5%.
- 激光超声 /
- 光偏转 /
- 测厚传感器 /
- 纵波
Abstract: A new laser ultrasonic sensor for testing samples' thickness is developed.The detection principle is discussed in detail.This sensor has high-frequency response,high sensitivity and is easy to adjust.The sensor is used to detect laser-induced ultrasonic longitude-wave at the epicenter of the rear metallic surface when pulse Nd:YAG laser is focused on polished iron plate.Well-defined longitude-wave and its echo waves are acquired.Based on the experimental results,the sample's thickness can be deduced.The theoretical and experimental results are in good agreement with relative error of 0.5%.
- laser ultrasound /
- optical beam deflection /
- senor for testing thickness /
- longitudinal wave

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反射激光式超声测厚传感器及其应用

作者简介: 陈笑,女,1977年2月出生.博士研究生.目前主要从事激光与物质相互作用的测试和机制方面的研揪

1. 南京理工大学应用物理系, 南京, 210094

收稿日期: 2003-04-25
录用日期: 2003-06-30
网络出版日期: 2003-11-25

基金项目: 国家自然科学基金;江苏省自然科学基金;教育部高校优秀青年教师奖励计划;激光技术国家重点实验室开放基金资助项目

关键词:

摘要: 研制了激光超声测厚传感器,并对其测试原理进行了讨论.该传感器具有高频响、频带宽、较高的灵敏度且易于调节.进而采用该传感器测试了由脉冲Nd:YAG激光在抛光的薄铁片上所激发的超声纵波.根据铁片背面对心处接收到的超声纵波及其回波波形,可以推算出样品薄板的厚度.理论和实验测试结果显示,该传感器的相对测量误差达0.5%.