薄膜均匀性的有限元算法

谭旭东; 马孜; 蔡邦维

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薄膜均匀性的有限元算法

谭旭东 , 马孜 , 蔡邦维

文章导航 > 激光技术 > 2003 > 27(5): 480-483

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Citation:

薄膜均匀性的有限元算法

1.
四川大学电子信息学院, 成都, 610064;
2.
西南技术物理研究所, 成都, 610041

作者简介: 谭旭东,男,1977年5月出生.硕士研究生.主要从事激光与光通信技术的研究..

中图分类号: O484.4^⁺1

Simulating uniformity of film thickness with finite-elements method

1.
College of Electronics Information, Sichuan University, Chengdu, 610064;
2.
Southwest Institute of Technical Physics, Chengdu, 610041
CLC number: O484.4^⁺1

摘要: 应用有限元方法模拟计算了镀膜系统平行平面转盘在不同转速以及不同的镀膜时间下波分复用(DWDM)系统介质滤光片的成膜均匀性。结果表明,针对不同的膜料,合理选择转速和控制镀膜时间能够提高薄膜成膜的均匀性。
- 薄膜 /
- 均匀性 /
- 有限元 /
- 转速
Abstract: In this paper,finite-elements method is used to simulate the film thickness uniformity at different rotation and different time. The result shows that the uniformity of film thickness can be improved if the rotation and time are selected properly.
- thin film /
- uniformity /
- finite-elements /
- rotation

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