薄膜均匀性的有限元算法

谭旭东; 马孜; 蔡邦维

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薄膜均匀性的有限元算法

谭旭东 , 马孜 , 蔡邦维

文章导航 > 激光技术 > 2003 > 27(5): 480-483

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Citation:

薄膜均匀性的有限元算法

1.
四川大学电子信息学院, 成都, 610064;
2.
西南技术物理研究所, 成都, 610041

作者简介: 谭旭东,男,1977年5月出生.硕士研究生.主要从事激光与光通信技术的研究..

中图分类号: O484.4^⁺1

Simulating uniformity of film thickness with finite-elements method

1.
College of Electronics Information, Sichuan University, Chengdu, 610064;
2.
Southwest Institute of Technical Physics, Chengdu, 610041
CLC number: O484.4^⁺1

摘要: 应用有限元方法模拟计算了镀膜系统平行平面转盘在不同转速以及不同的镀膜时间下波分复用(DWDM)系统介质滤光片的成膜均匀性。结果表明,针对不同的膜料,合理选择转速和控制镀膜时间能够提高薄膜成膜的均匀性。
- 薄膜 /
- 均匀性 /
- 有限元 /
- 转速
Abstract: In this paper,finite-elements method is used to simulate the film thickness uniformity at different rotation and different time. The result shows that the uniformity of film thickness can be improved if the rotation and time are selected properly.
- thin film /
- uniformity /
- finite-elements /
- rotation

[1]	顾培夫.薄膜技术.杭州:浙江大学出版社,1990:131～145.
[2]	杨邦朝,王文生.薄膜物理与技术.成都:电子科技大学出版社,1994:25～35.
[3]	阴晓俊,费书国,章月州 et al.光学仪器,2001,12(23):5～10.
[4]	小泉达也,孙大雄,范滨.光学仪器,2001,12(23):5～6.

[1]	王纪俊 , 沈中华 , 倪晓武 , 许伯强 , 关建飞 , 陆建 . 透明薄膜/基底系统激光超声波的有限元数值研究. 激光技术, 2006, 30(2): 177-180.
[2]	曹豆豆 , 王开圣 , 杨雁南 . 环状激光作用于薄管产生温度场的有限元模拟. 激光技术, 2010, 34(6): 753-756. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.06.010
[3]	陈春明 , 战宇 , 刘常升 , 方奔 . 激光超声测量T800/QY9511复合材料工程常数的有限元模拟. 激光技术, 2019, 43(1): 88-92. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.01.018
[4]	王建国 , 贺洪波 , 邵建达 , 范正修 . 光波在具有柱状结构的双折射薄膜中的传输特性. 激光技术, 2005, 29(6): 601-603,607.
[5]	刘国军 , 徐莉 , 史全林 , 王喜祥 , 张千勇 . 水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究. 激光技术, 1994, 18(4): 220-224.
[6]	金清理 . 获取大范围均匀散射狭缝光场的新方法. 激光技术, 2000, 24(2): 128-130.
[7]	蒋新颖 , 徐美健 , 蒋东镔 , 段文涛 , 於海武 . V型有源镜构型热容激光器热特性研究. 激光技术, 2009, 33(1): 21-23.
[8]	张浩 , 樊红英 , 赵琦 , 蒋泽伟 , 孟庆安 , 欧阳刚 , 陈好 . 基于非球面镜组的大口径激光匀化技术研究. 激光技术, 2023, 47(3): 340-344. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.03.009
[9]	孟妮妮 , 钱晓凡 , 刘滨 , 李昕颖 , 张亚萍 . 振幅自由度对衍射光学元件成像的影响研究. 激光技术, 2019, 43(6): 855-862. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.06.023
[10]	王成 , 马莹 , 张贵彦 , 肖孟超 , 甘志宏 , 缪同群 , 钱龙生 . 薄膜应力激光测量方法分析. 激光技术, 2005, 29(1): 98-100.
[11]	李玉瑶 , 王菲 , 孙同同 . 薄膜激光损伤阈值标定技术. 激光技术, 2021, 45(6): 729-734. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.06.009
[12]	闫斌 , 吴福全 , 郝殿中 , 张旭 , 毕佳 , 郑萌萌 . λ/4光学薄膜相位延迟器的温度特性. 激光技术, 2008, 32(2): 215-217.
[13]	何长涛 , 马孜 , 陈建国 , 赵汝进 . 基于小波变换的薄膜激光损伤识别. 激光技术, 2007, 31(2): 131-133,136.
[14]	于业梅 , 李清山 , 李新坤 , 徐言东 , 蒙岩峰 . Cu掺杂ZnO薄膜光学性质的研究. 激光技术, 2010, 34(4): 456-458,528. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.007
[15]	常艳贺 , 金春水 , 邓文渊 , 李春 . 193nm薄膜激光诱导损伤研究. 激光技术, 2011, 35(3): 308-311. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.03.006
[16]	陈传忠 , 姚书山 , 包全合 , 张亮 , 雷廷权 . 脉冲激光沉积羟基磷灰石薄膜的研究现状. 激光技术, 2004, 28(1): 74-77.
[17]	韩晓星 , 朱大庆 , 宁娜 , 金曦 . 用于光波导的高性能聚合物薄膜制备工艺研究. 激光技术, 2004, 28(3): 315-318.
[18]	刘细成 , 王植恒 , 廖清君 , 赖成军 . 用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数. 激光技术, 2003, 27(2): 94-96,112.
[19]	秦玉伟 . 氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究. 激光技术, 2014, 38(6): 845-847. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.026
[20]	唐帆斌 , 肖峻 , 马孜 . TiO2薄膜的宽光谱特性椭偏法研究. 激光技术, 2015, 39(6): 776-779. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.06.009