一种提高极值法监控精度的方法

张晓晖; 陈清明; 朱伟民; 汤炜; 杨光

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一种提高极值法监控精度的方法

张晓晖 , 陈清明 , 朱伟民 , 汤炜 , 杨光

文章导航 > 激光技术 > 2001 > 25(5): 386-390

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一种提高极值法监控精度的方法

1.
华中科技大学激光技术国家重点实验室武汉430074

作者简介: 张晓晖,女,1965年3月出生.博士,副教授.从事光学薄膜及军用激光测距仪的研究..

A method to improve the precision of turning point monitoring approach

1.
National Laboratory of Laser Technology, HUST, Wuhan, 430074

摘要: 提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。
- 薄膜淀积 /
- 极值监控法 /
- 膜厚监控精度 /
- 过正控制量
Abstract: A monitoring method, which can improve the precision of the turning point monitoring approach,is proposed in the paper. This method stops depositing each layer of a film at the point which has different reflectance extreme overshoot so that the structure of the deposited film is similar to the design. It can improve the monitoring precision of a coating with quarterwave or non-quarterwave optical thickness layers.
- film deposition /
- the turning point monitoring approach /
- film thickness monitoring precision /
- overshoot

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