等离子体辅助沉积大口径无漂移平板偏振膜

赵元安; 杨向东; 孔明东; 付雄鹰

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等离子体辅助沉积大口径无漂移平板偏振膜

赵元安 , 杨向东 , 孔明东 , 付雄鹰

文章导航 > 激光技术 > 2001 > 25(4): 250-253

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等离子体辅助沉积大口径无漂移平板偏振膜

1.
四川大学西区物理所, 成都, 610065;
2.
成都精密光学工程研究中心, 成都, 610041

作者简介: 赵元安,男,1976年8月出生.硕士研究生.现从事高阈值激光薄膜的研究..

Large aperture shift-free polarizer deposited by Plasma-IAD

1.
Institute of Physics, West Campus of Sichuan University, Chengdu, 610065;
2.
Chengdu Fine Optical Engineering Research Center, Chengdu, 610041

摘要: 报道了用等离子体辅助(Plasma IAD)沉积技术镀制中心波长在1054nm的大口径(大于0.9m2)无漂移偏振膜,经高温高湿处理后,中心波长的漂移小于1nm。
- 等离子体辅助沉积 /
- 无漂移偏振膜 /
- 波长漂移
Abstract: The plasma-ion assisted deposition (Plasma-IAD) process has been applied in deposition of large aperture shift-free polarizers at 1054nm.The shift of the center wavelength is less than 1nm when the polarizer is put in high temperature and high humidity environment.
- Plasma-IAD /
- shift-free ploarizer /
- wavelength shift

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