同轴射频激励CO2激光器的热效应研究

刘建华; 王又青; 陈清明; 陈一坚; 李再光; 段军; 胡席远

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同轴射频激励CO2激光器的热效应研究

刘建华 , 王又青 , 陈清明 , 陈一坚 , 李再光 , 段军 , 胡席远

文章导航 > 激光技术 > 2001 > 25(1): 54-59

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同轴射频激励CO2激光器的热效应研究

1.
华中理工大学材料科学与工程学院, 武汉, 430074
2.
华中科技大学激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074

作者简介: 刘建华,男,1946年7月4日出生.教授.现从事激光切割和焊接方面的研究工作.;王又青,男,1963年出生.博士,教授.长期从事射频激励气体激光器及激光沉积薄膜技术研究..

Study on thermal effect of a coaxial RF-excited CO2 laser

1.
Department of Materials Science & Engineering, HUST, Wuhan, 430074
2.
National Laboratory of Laser Technology, HUST, Wuhan, 430074

摘要: 通过求解放电等离子体中的带电粒子密度和能量的平衡方程、电流连续性方程以及热传导方程,研究了同轴射频(RF)激励CO2激光器中放电混合气体的温度效应,分析了有关放电参数对温度分布的影响。
- 同轴RF激励 /
- CO2激光器 /
- 热效应
Abstract: This paper describes the thermal effects of a coaxial RF-excited CO2 laser,based on the balance equations of electron density and energy,current continuity equation,and heat conduction equationDependencies of the spatial distributions of gas temperature on some discharge parameters are discussed.
- coaxial RF-excite /
- CO2 laser /
- thermal effect

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