LPX305iF型准分子激光光束质量诊断

李呈德; 陈涛; 万盈; 左铁钏

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LPX305iF型准分子激光光束质量诊断

李呈德 , 陈涛 , 万盈 , 左铁钏

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Citation:

LPX305iF型准分子激光光束质量诊断

1.
北京工业大学国家产学研激光技术中心, 北京, 100022

作者简介: 李呈德,男,1962年12月出生.博士.现主要从事激光微细加工装备及加工工艺研究..

基金项目:
国家自然科学基金;北京市自然科学基金

The beam quality diagnosis of Lambda Physik LPX 305iF excimer laser

1.
Beijing Polytechnic University, National Center of Laser Technology, Beijing, 100022

摘要: 以准分子激光应用于微细加工为目的,采用了一套光束诊断技术对德国Lambda Physik LPX 305iF型KrF准分子激光器进行了全面鉴定。
- 准分子激光 /
- 光束质量 /
- 诊断
Abstract: The excimer lasers are novel laser source for industry procedure.In order to obtain the optimum process parameters for various processing condition,we have to now the laser beam quality characteristic, such as energy stability of laser pulses sequences,laser pulse duration and its stability,beam divergence and its stability and energy distribution on spot,except for operating wavelength,maximum pulse energy,pulse repetition and average power.So we used a set of dignotic techniques to evaluate the beam quality of Lambda Physik LPX 305iF KrF laser for excimer laser micro-machining.
- excimer laser /
- beam quality /
- diagnosis

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