近阈值能量密度下薄膜的激光损伤特点

马孜; 吕百达; 肖琦

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

近阈值能量密度下薄膜的激光损伤特点

马孜 , 吕百达 , 肖琦

文章导航 > 激光技术 > 2000 > 24(3): 145-147

引用本文:

Citation:

近阈值能量密度下薄膜的激光损伤特点

1.
四川大学电子信息学院, 成都, 610064;
2.
西南技术物理所, 成都, 610041

作者简介: 马孜,男,1966年6月出生.博士,高工.现主要从事薄膜研究方面的工作..

Laser damage mechanisms of optical coating under near-threshold energy

1.
Institute of Optical-Electron Information, Sichuan University, Chengdu, 610064;
2.
South West Institute of Technical Physics, Chengdu, 610041

摘要: 采用毫米量级大光斑的近单模的激光器,控制入射薄膜表面的激光能量,获得了几种常见单层膜和增透膜的损伤形貌,实验结果表明,薄膜的损伤可区分为熔化型和应力型两种,薄膜表面等离子体对损伤斑点的扩大有重要作用。
- 光学薄膜 /
- 激光损伤 /
- 损伤形貌
Abstract: A laser damage facilities,which has mm size spot and operates in TEM00 mode, were achieved.In order to know the reasons of laser damage,the laser energy density was controlled near the damage threshold of the oxide thin films.According to the examined near threshold damage morphology,the damage mechanisms of the optical coatings can be divided into two types.One was caused by melting of the coating materials,another by exploding,induced with the inner stress of the film.The plasma generated was an important reason to expand the damage area.
- optical coatings /
- laser damage /
- damage morphograph

[1]	. Walker T W.Guenther A H.Nielsen P E.IEEE J Q E.1981;QE17(10):2041～2051
[2]	. 李仲伢.邓和.范正修.中国激光.1989;16(7):413～416
[3]	. 汤雪飞.范正修.王之江.光学学报.1992;12(5):473～475
[4]	. 龚辉.李成富.王明利.中国激光.1996;A23(3):245～248
[5]	. 斯温M V主编.郭景坤等译.陶瓷的结构与性能.第一版.北京:科学出版社.1998:308～313

[1]	常艳贺 , 金春水 , 邓文渊 , 李春 . 193nm薄膜激光诱导损伤研究. 激光技术, 2011, 35(3): 308-311. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.03.006
[2]	骆永全 , 张大勇 , 张翠娟 , 罗飞 , 沈志学 , 刘海涛 . 液晶光学器件激光损伤研究. 激光技术, 2010, 34(3): 392-394. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.03.030
[3]	夏晋军 , 李仲伢 , 程雷 . 532nm激光对光学薄膜的损伤. 激光技术, 1996, 20(6): 377-380.
[4]	何长涛 , 马孜 , 陈建国 , 赵汝进 . 基于小波变换的薄膜激光损伤识别. 激光技术, 2007, 31(2): 131-133,136.
[5]	常艳贺 , 金春水 , 李春 , 邓文渊 , 靳京城 . ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤. 激光技术, 2014, 38(3): 302-306. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.03.004
[6]	高志山 , 陈进榜 . 激光损伤光学表面的检测研讨. 激光技术, 2000, 24(3): 185-188.
[7]	杨富 , 黄伟 , 张彬 , 楚晓亮 , 刘志国 , 蔡邦维 . CO2激光辐照下光学薄膜的温度场与热畸变. 激光技术, 2004, 28(3): 255-258.
[8]	姜珊珊 , 蔡继兴 , 金光勇 , 苑博识 . 毫秒/纳秒激光致碳纤维环氧树脂损伤形貌研究. 激光技术, 2018, 42(6): 775-779. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.06.009
[9]	吕雪明 , 李泽文 , 张检民 , 倪晓武 . 不同延时的组合脉冲激光致硅表面损伤研究. 激光技术, 2020, 44(6): 695-699. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.06.008
[10]	苗心向 , 袁晓东 , 程晓锋 , 贺少勃 , 郑万国 . 表面污染物诱导熔石英损伤的热力学数值模拟. 激光技术, 2011, 35(2): 285-288. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.02.039
[11]	陈鹏 , 单清 , 张杰 , 马萍 , 张翠萍 , 姜严明 , 钱焕文 . DMTU对激光视网膜损伤治疗作用的实验研究. 激光技术, 2003, 27(4): 285-287.
[12]	齐丽君 , 朱晓 , 朱长虹 , 郭飞 , 朱广志 , 谷山强 . 瓷绝缘子表面激光损伤的数值模拟和实验研究. 激光技术, 2011, 35(6): 844-848. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.06.032
[13]	王云萍 , 侯军燕 , 袁春 , 康文运 , 陈安民 , 张鲁薇 . 飞秒激光对多光谱滤波片的损伤阈值研究. 激光技术, 2022, 46(5): 697-701. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.05.020
[14]	魏红振 , 李家镕 . 光学元件吸收测量. 激光技术, 1999, 23(5): 284-287.
[15]	梁晶 , 谭吉春 . 基于光路失调原理消除笔形光束的危害. 激光技术, 2005, 29(5): 528-532.
[16]	吴周令 , 范正修 , 高扬 , 王之江 . 基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响. 激光技术, 1990, 14(3): 8-12.
[17]	戴罡 , 陆建 , 王斌 , 刘剑 , 倪晓武 . 脉宽1ms和10ns的激光损伤光学薄膜元件的比较分析. 激光技术, 2011, 35(4): 477-480,542. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.04.010
[18]	李玉瑶 , 王菲 , 孙同同 . 薄膜激光损伤阈值标定技术. 激光技术, 2021, 45(6): 729-734. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.06.009
[19]	王贵兵 , 罗飞 , 刘仓理 , 王春彦 . 芳纶纤维复合材料激光烧蚀损伤形貌研究. 激光技术, 2006, 30(2): 168-169,180.
[20]	范卫星 , 王平秋 , 韩敬华 , 刘全喜 , 杨洁 , 郭超 . 重复激光脉冲作用下薄膜损伤演化规律研究. 激光技术, 2014, 38(2): 210-213. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.02.014