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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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F-P干涉仪在长度测量领域的应用

程晓辉 赵洋 李达成

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F-P干涉仪在长度测量领域的应用

    作者简介: 程晓辉,男,1972年11月出生.博士生.目前主要从事激光干涉仪和纳米长度测量方面的研究..

Applications of Fabry Perot interferometer in length measurement

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出版历程
  • 收稿日期:  1998-07-20
  • 录用日期:  1998-09-21
  • 刊出日期:  1999-05-25

F-P干涉仪在长度测量领域的应用

    作者简介: 程晓辉,男,1972年11月出生.博士生.目前主要从事激光干涉仪和纳米长度测量方面的研究.
  • 1. 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京, 100084

摘要: F-P标准具和干涉仪利用多光束干涉的原理,产生极锐的干涉条纹并且谐振频率对F-P腔长的变化非常敏感,根据这些特点,从利用F-P干涉仪进行激光器的频率锁定、稳频,光学倍程精密定位和纳米测量三个角度综述了在长度测量领域F-P干涉仪的发展情况;在分析主要存在的问题和解决方法的基础上,讨论了F-P干涉仪的发展方向,并指出在纳米测量中F-P干涉仪将起到越来越重要的作用。

English Abstract

参考文献 (9)

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