抗反射亚波长光栅的特性研究

基金项目:

中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室资助;中国工程物理研究院第二研究所资助

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Research about antireflection characteristics of subwavelength grating

摘要: 利用矢量衍射理论的数值求解方法,研究了亚波长光栅结构参数对反射率的影响,特别是基底厚度对反射率的影响,这些为设计和制作具有优良的抗反射性能的二元光学元件提供了设计依据.
- 亚波长光栅 /
- 矢量衍射 /
- 抗反射
Abstract: In this paper,using numerical solution method of vector diffraction theory,we discuss the dependence of reflectivity upon structural parameters of subwavelength grating,particularly upon substrate thickness.It can be used as the basis for design and fabrication of binary optical element with proper antireflection property.
- subwavelength /
- vector theory /
- antireflection

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