脉冲激光扫描淀积类金刚石薄膜

王秋良; 王又青; 安承武

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

脉冲激光扫描淀积类金刚石薄膜

王秋良 , 王又青 , 安承武

文章导航 > 激光技术 > 1998 > 22(2): 77-79

引用本文:

Citation:

脉冲激光扫描淀积类金刚石薄膜

1.
华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074

作者简介: 王秋良,男,1967年出生。副教授,留日博士后。现从事激光沉积薄膜研究。.

Pulsed laser scanning deposition of diamondlike thin films

1.
National Laboratory of Laser Technology, HUST, Wuhan, 430074

摘要: 采用能量密度为1.178×109W/cm2的XeCl准分子激光直接辐照高纯度的石墨靶,并同时采用辅助放电,在1×10-5Torr的真空环境中,于温度为80℃的Si(100)的基片上淀积出类金刚石薄膜,Raman光谱显示在1330cm-1处出现较强的散射峰值;对薄膜红外光谱进行测试,其光谱在2900cm-1处有吸收峰,表明所淀积的类金刚石薄膜含有C-H键,其H元素与C元素的比为45%.薄膜的电阻率为1.89×106Ω/cm,通过光吸收测得的该薄膜的能隙为1.55eV.
- 脉冲激光 /
- 类金刚石薄膜 /
- Raman光谱
Abstract: The diamondlike thin films were prepared by irradiation on high pure graphite with a high energy density(1.178×109W/cm2) laser (XeCl 308nm) in 1×105Torr vacuum.The Raman spectra shows the thin film has the properties of diamond,the scatter peak is 1330cm-1.The IR spectra shows the thin film contained C-H bound,and the ratio of H to C is about 45%.The resistivity and optical energy gap of the thin film are 1.89×106Ω/cm and 1.55eV,respectively.
- pulsed-laser deposition /
- diamondlike thin film /
- Raman spectra

[1]	May P W.Sciences,1995;327:101
[2]	Spear K E,Dismikes J P.Synthetic Diamond:Emerging CV D Science and Technology.Wiley,1994
[3]	Jing J,Liu C.SPIE,1991;1519:717
[4]	Baranauskas V,Fukui M,Rodrigues C R et al.A P L,1992;60:1567
[5]	Couder P,Catherine Y.Thin Solid Film,1987;146:93
[6]	Kojima H Kako H.Japan J A P,1985;24:1432
[7]	Voevodin A A,Laube S J P,Walck S D.J A P,1995;18:4123
[8]	Polo M C,Cifre J,Sanchez G et al.A P L,1995;67:485
[9]	Xiang J,Zheng Z,Liao C.SPIE,1991;1519:683

[1]	蔡颂 , 宋金潮 , 王遥遥 , 陈达 , 邓凯 , 汤迎红 , 李琦 . 脉冲激光烧蚀CFRP材料工艺优化. 激光技术, 2024, 48(1): 83-91. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2024.01.014
[2]	石文波 , 杨亮 , 金玉奇 , 李庆伟 , 吴克难 . 纳秒脉冲激光抽运下的铯蒸气电离度研究. 激光技术, 2022, 46(6): 713-721. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.06.001
[3]	张超 , 王滨 , 廖志烨 , 衣学斌 , 万勇 , 张伟 . 脉冲激光干扰面阵CCD成像系统的实验研究. 激光技术, 2014, 38(5): 619-622. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.05.009
[4]	李晓龙 , 赵威 , 张雷雷 , 张启鹏 , 康华超 , 刘伟 . 1.06m脉冲激光对TDI-CCD的干扰实验研究. 激光技术, 2015, 39(3): 416-418. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.03.029
[5]	卢长亮 , 胡芳友 , 黄旭仁 , 易德先 , 胡滨 , 崔爱永 . 脉冲激光辐照金属板温度场应力场数值分析. 激光技术, 2012, 36(6): 754-758. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.011
[6]	王金瑞 , 戈传辉 , 邹观送 , 王飞扬 , 章小曼 , 吴淑莲 , 李晖 . 经宫腔镜观察通道的脉冲激光耦合方案的设计. 激光技术, 2024, 48(5): 651-656. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2024.05.006
[7]	戴炳明 , 张雏 , 李东石 . 脉冲激光测距机的测距误差分析. 激光技术, 1999, 23(1): 50-52.
[8]	黄开金 , 谢长生 , 许德胜 . 脉冲激光熔凝和相变硬化的研究现状. 激光技术, 2003, 27(2): 130-133.
[9]	孙梅生 , 卢威 , 徐小鹏 . 一种四参数可编程75kW脉冲激光电源平台的设计. 激光技术, 2003, 27(3): 166-167.
[10]	王又青 , 郭振华 , 李再光 . 新型高重复率脉冲固体激光电源. 激光技术, 1995, 19(4): 209-213.
[11]	何跃娟 , 朱日宏 , 沈中华 , 陆建 , 倪晓武 . 激光作用于圆管产生瞬态温度场的数值模拟. 激光技术, 2005, 29(4): 386-388,428.
[12]	雷震 , 张立文 , 张晓玲 , 孟庆端 . 高斯激光辐照焦平面探测器温度场分析与仿真. 激光技术, 2016, 40(4): 516-520. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.04.013
[13]	王霄 , 陈怡星 , 刘会霞 , 刘长京 , 丁国民 . 激光微造型中烧蚀热场及弹坑的数值模拟. 激光技术, 2007, 31(6): 565-567,580.
[14]	李震 , 倪日文 , 曾笔鉴 . 一种基于快速自动聚焦的相变光刻系统. 激光技术, 2016, 40(2): 178-182. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.02.006
[15]	郑业亮 , 胡以华 , 赵楠翔 , 任晓东 . 脉宽及重频对HgCdTe探测器损伤阈值影响分析. 激光技术, 2018, 42(2): 265-270. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.02.024
[16]	朱海红 , 唐霞辉 , 朱国富 . 激光焊接金刚石锯片焊缝强度的研究. 激光技术, 1998, 22(5): 273-276.
[17]	朱海红 , 唐霞辉 , 朱国富 . 金刚石取芯钻头的激光焊接. 激光技术, 1999, 23(4): 238-241.
[18]	庞振华 , 杨惠宁 , 潘瑞娟 . 金刚石空芯钻的激光焊接. 激光技术, 2001, 25(5): 390-393.
[19]	黄开金 , 林鑫 , 胡木林 , 谢长生 , 陶曾毅 . 激光焊接金刚石锯片的研究现状. 激光技术, 2006, 30(5): 486-489,493.
[20]	陈根余 , 李宗根 , 邓辉 , 袁勃 , 陈俊 . 脉冲光纤激光修锐青铜金刚石砂轮试验研究. 激光技术, 2013, 37(6): 705-711. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.06.001

点击查看大图

计量

文章访问数: 3193
HTML全文浏览量: 668
PDF下载量: 352
被引次数: 0

脉冲激光扫描淀积类金刚石薄膜

作者简介: 王秋良,男,1967年出生。副教授,留日博士后。现从事激光沉积薄膜研究。

1. 华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074

收稿日期: 1996-10-08
录用日期: 1997-08-06
网络出版日期: 1998-03-25

关键词:

摘要: 采用能量密度为1.178×109W/cm2的XeCl准分子激光直接辐照高纯度的石墨靶,并同时采用辅助放电,在1×10-5Torr的真空环境中,于温度为80℃的Si(100)的基片上淀积出类金刚石薄膜,Raman光谱显示在1330cm-1处出现较强的散射峰值;对薄膜红外光谱进行测试,其光谱在2900cm-1处有吸收峰,表明所淀积的类金刚石薄膜含有C-H键,其H元素与C元素的比为45%.薄膜的电阻率为1.89×106Ω/cm,通过光吸收测得的该薄膜的能隙为1.55eV.