冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用

孙屹群; 汤彦骐

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冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用

孙屹群 , 汤彦骐

文章导航 > 激光技术 > 1997 > 21(5): 318-320

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冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用

1.
云南光学仪器厂, 昆明, 650114

作者简介: 孙屹群,女,1970年11月出生。助工。现从事光学薄膜工艺技术。.

Deposition technology and its application using an auxiliary cold cathode ion source

1.
Yunna Optical Instrument Factory, Kunming, 650114

摘要: 叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。
- 离子束辅助蒸发(IAD) /
- 冷阴极离子源
Abstract: In optical surface film coating,the ion auxiliary deposition(IAD) technique has been widely used.Based on the analysis on the operating condition of IAD,this article compares the two kinds of the ion auxiliary deposition techniques using hot cathode ion source and cold cathode ion source and points out that,with the help of cold ion source,the film deposited on the optical surfaces has the better microstructure.In vacuum deposition,using of the cold cathode ion source can reduce the deposition period.
- ion beam auxiliary deposition(IAD) /
- cold cathode ion source

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