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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用

孙屹群 汤彦骐

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冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用

    作者简介: 孙屹群,女,1970年11月出生。助工。现从事光学薄膜工艺技术。.

Deposition technology and its application using an auxiliary cold cathode ion source

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出版历程
  • 收稿日期:  1995-11-30
  • 录用日期:  1996-10-12
  • 刊出日期:  1997-09-25

冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用

    作者简介: 孙屹群,女,1970年11月出生。助工。现从事光学薄膜工艺技术。
  • 1. 云南光学仪器厂, 昆明, 650114

摘要: 叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。

English Abstract

参考文献 (2)

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