激光散射理论及其在计量测试中的应用

陈军; 尤政; 周兆英

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激光散射理论及其在计量测试中的应用

陈军 , 尤政 , 周兆英

文章导航 > 激光技术 > 1996 > 20(6): 359-365

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激光散射理论及其在计量测试中的应用

1.
清华大学精密仪器系, 北京, 100084

作者简介: 陈军,女,1970年9月出生。现在清华大学精密仪器与机械学系光电技术及系统实验室攻读博士学位。.

flaw beam of diffuse reflection laser CCD signal processing

1.
Department of Precision Instruments, Tsinghua University

摘要: 本文系统地介绍了一门新近发展起来的学科---光散射及其应用技术。文中概述了散射理论的发展历史,详细介绍了瑞利散射定律及米氏理论,分析了散射与粒度、表面轮廓形貌统计特性及晶体内部微缺陷之间的数学关系,给出了激光散射在粒度、表面粗糙度测试及微缺陷检测中的应用实例.
- 散射 /
- 瑞利散射理论 /
- 米氏理论 /
- 测量 /
- 应用
Abstract: In this paper,a newly developed science subject——light scattering and its application in measurement is introduced.The developmental history is reviewed.Based on Rayleigh scattering theory and Mie theory, the relationship between scattering and particle sizing, statistical characteristics of surface topography and micro defects in crystal are analyzed.At last,some typical application of scattering theory are presented.
- scattering /
- Rayleigh scattering theory /
- Mie theory /
- measurement /
- application

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