X光预电离源实验研究

王又青; 李再光

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X光预电离源实验研究

王又青 , 李再光

文章导航 > 激光技术 > 1996 > 20(5): 263-266

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X光预电离源实验研究

1.
华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074

作者简介: 王又青,男,1963年7月出生。讲师。现主要从事脉冲固体与脉冲气体激光器的研究工作。.

Experimental research of X-ray preionization source for excimer lasers

1.
National Lab.of Laser Tech., HUST

摘要: 对于准分子激光器这样的高压气体脉冲放电器件,为保证放电的均匀性,预电离是必不可少的。本文介绍了X光预电离的产生机理及实验装置,并进行了详细的实验研究及理论分析,对实际工作有较大的参考意义。
- 高压气体脉冲放电 /
- X光预电离 /
- 初始电子浓度
Abstract: In order to obtain the homogeneity of pulse discharge at the high pressure,a X-ray preionization source for excimer lasers is introduced in this paper.The X-ray results from the impact of accelerated electrons against a Tatarget.The shorter the wavelength of X-ray is,the ability of the preionization is much stronger.With the X-ray preionization source,the preionization electrons density of 2.9×108cm-3 can be obtained in He:Xe:Fe mixed gas atmosphere.
- pulse discharge at high pressure /
- X-ray preionization /
- initial electron density

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