实用化XeCl准分子激光器气体寿命的实验研究

方晓东; 戴静华

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实用化XeCl准分子激光器气体寿命的实验研究

方晓东 , 戴静华

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实用化XeCl准分子激光器气体寿命的实验研究

方晓东¹,
戴静华²

1.
中科院安徽光机所, 合肥, 230031;
2.
中国科技大学化学物理系, 合肥, 230026

作者简介: 方晓东(附照片).男,1963年11月出生.硕士.助理研究员.主要从事激光物理、激光技术领城研究工作;藏静华.女,1955年3月出生.实验师.主要从事激光化学领域研究工作..

Experimental study on gas lifetime of XeCl excimer laser

Fang Xiaodong¹,
Dai Jinghua²

1.
Anhui institllte of Optics and Fine Mechanics, Acadmia Sinica;
2.
Department of Chemistry Physics, USTC

摘要: 气体寿命是影响准分子激光器输出稳定的一个重要因素.我们在一台实用化XeCl准分子激光器上实验,定量给出了微量补充HCl气体对激光输出的影响,并且给出了激光气体长时间的工作寿命曲线.
- XeCl准分子激光器 /
- 气体寿命
Abstract: Gas life is an important factor for operation of excimer laser.The gas lifetime of the XeCl excimer laser is mainly dependent on the ingredient of halogen gas and the actinic absorption.In experimental study,HCI gas was added when laser output reduced to 70%.Filially,the relationship of laser output and HCI additive was obtained.The experimental results show that the gas lifetime can be prolonged with the HCI gas additivc.
- XeCl excimer laser /
- gas lifetime

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