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转叶式真空泵
邹福清
,
刘建卿
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Balzers公司推出了一种新型的重量较轻的UNO/DUO2.5-A转叶式真空泵。其价格和小型尺寸与以前各种型号的相同,但其抽气速度更高。它提供1.7cfm的体流率,极限真空度为10-4Torr,供中、低真空范围使用。
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