摘要: 本文简要地分析了激光与MOS结构CCD器件相互作用全过程,提出了该破坏过程中的几种损伤阈值。在进行了实际测试的基础上,首次得到了Q开关YAG激光致使该种器件产生的热熔融阈值、光学击穿阈值、直接破坏阈值和致使整个器件失效的激光能量阈值等有关结果。