DLC膜作为Ge片减反射膜的研究

毛友德; 刘声雷; 杨国伟

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DLC膜作为Ge片减反射膜的研究

毛友德 , 刘声雷 , 杨国伟

文章导航 > 激光技术 > 1991 > 15(5): 271-273

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DLC膜作为Ge片减反射膜的研究

1.
合肥工业大学应用物理系, 合肥

作者简介: 毛友德,男,1939年2月出生。副教授。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;刘声雷,男,1947年出生。讲师。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;杨国伟,男,1964年出生,硕士研究生。从亨DLC和金刚石薄膜研究工作。;毛友德,男,1939年2月出生。副教授。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;刘声雷,男,1947年出生。讲师。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;杨国伟,男,1964年出生,硕士研究生。从亨DLC和金刚石薄膜研究工作。;毛友德,男,1939年2月出生。副教授。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;刘声雷,男,1947年出生。讲师。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;杨国伟,男,1964年出生,硕士研究生。从亨DLC和金刚石薄膜研究工作。.

基金项目:
机电部机械工业技术发展基金项目,编号:86J7720.

A study of DLC films for antireflection films of Ge

1.
Department of Applied Physics, Hefei Polytechnic University

摘要: 本文采用rfPCVD方法,以甲苯为工作气体,制备出DLC膜,研究了它的光学性能,以及作为激光窗口材料Ge片的减反射膜的应用。
Abstract: In the present paper,diamondlike carbon films have been formed by rfPCVD from C7H8 gas.The optical properties of DLC films are investigated,the experiment results show that DLC films are suitable for antireflection coatings of laser window.

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