蒸镀调制盘及其分析

张伟; 赵恒谦

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

蒸镀调制盘及其分析

张伟 , 赵恒谦

文章导航 > 激光技术 > 1989 > 13(6): 49-52

引用本文:

Citation:

蒸镀调制盘及其分析

张伟,
赵恒谦

1.
哈尔滨工业大学

Modulating grids for evaporation and analysis of them

1.
Harbin Institute of Technology

摘要: 本文对蒸镀薄膜过程中的蒸发柱子流调制盘的形式及作用进行了讨论;同时对具有调制盘存在时的蒸发速度、调制速度以及膜厚的关系进行了分析.文中给出了一个用调制盘稳定沉积速度的例子,并指出了实践中应注意的几个问题.
Abstract: The forms and functions of the modulating grids for the evaporating particle beam during the evaporation are discussed.The relationship among the evaporating rate,the modulating coefficient and the thickness of the depositing film is analysesed at the same time.An applied example of stabilizing the evaporating rate with the modulating grid is given.Some points to be noted in practice is also pointed out.
[1] 张伟等,红外中性周期渐变减光板的研制,《激光与光学》,待发表.

[1]	于祖兰 . 薄膜蒸镀. 激光技术, 1991, 15(2): 96-96.
[2]	周九林 , 张苑 , 颜清华 , 周明 . 低能电子束辅助蒸镀的初步实验. 激光技术, 1986, 10(2): 26-29.
[3]	王学仁 . 对于蒸镀薄膜柱状结构的讨论. 激光技术, 1986, 10(4): 23-26.
[4]	王滨 , 李彤 , 吕百达 , 钟鸣 . 调幅式调制盘红外导引头的主动干扰. 激光技术, 2006, 30(6): 618-620,624.
[5]	段致平 , 周九林 . 任意折射率的均匀混合膜的获得——实用气相混合蒸镀技术之一. 激光技术, 1987, 11(6): 14-18.
[6]	段致平 , 周九林 . 变折射率膜层的获得——实用气相混合蒸镀技术之二. 激光技术, 1987, 11(6): 19-22.
[7]	崔开放 , 钟良 , 龚伟 , 代竟雄 . 陶瓷表面激光无钯活化及其化学镀镍. 激光技术, 2018, 42(5): 622-626. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.05.008
[8]	严嵋 . 金膜的镀制及其反射率的测量. 激光技术, 1981, 5(4): 49-51.
[9]	张波 , 黄德修 . 镀有高反膜的1/4波片工作特性分析. 激光技术, 2003, 27(1): 29-30.
[10]	叶大华 . 高斯光束特性分析及其应用. 激光技术, 2019, 43(1): 142-146. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.01.028
[11]	仲永安 . 激光离子质谱分析仪及其分析技术. 激光技术, 1988, 12(5): 1-7.
[12]	张晓青 , 贾豫东 , 曹文娟 . 相位凝固技术中干涉信号调制解调误差分析. 激光技术, 2015, 39(4): 501-505. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.04.016
[13]	王立福 , 王志斌 , 李晓 , 陈友华 , 张瑞 , 张鹏飞 . 弹光调制偏振Stokes参量测量及误差分析. 激光技术, 2014, 38(2): 255-259. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.02.023
[14]	江兴方 , 项少华 , 陶纯堪 . 灰度遥感图像去云技术及其质量的分析. 激光技术, 2009, 33(3): 329-332.
[15]	亓红群 , 段开椋 , 蒲继雄 . 光纤激光及其相干合成光场的准确分析. 激光技术, 2009, 33(6): 600-603. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.06.012
[16]	蔡忠平 , 潘龙法 , 徐端颐 . CD-ROM光盘数据格式及调制的计算机分析. 激光技术, 1996, 20(3): 155-159.
[17]	张晓霞 , 潘炜 , 罗斌 , 吕鸿昌 , 陈建国 . 半导体微腔激光器瞬态响应及调制特性分析. 激光技术, 2001, 25(3): 221-224.
[18]	钟先琼 , 李大义 , 陈建国 . 交叉相位调制不稳定性的进一步分析. 激光技术, 2004, 28(4): 427-430.
[19]	王金来 , 吉选芒 , 安毓英 , 刘劲松 . 大调制度中间段两波耦合强度特性的理论分析. 激光技术, 2000, 24(1): 1-4.
[20]	尹赫 , 马晶 , 谭立英 , 李密 . 高功率MgO：LiNbO3波导调制器的非线性影响分析. 激光技术, 2007, 31(3): 242-245.