变折射率膜层的获得——实用气相混合蒸镀技术之二

段致平; 周九林

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变折射率膜层的获得——实用气相混合蒸镀技术之二

段致平 , 周九林

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变折射率膜层的获得——实用气相混合蒸镀技术之二

段致平¹,
周九林²

1.
平原光学仪器厂;
2.
西南技术物理所

Deposition of layers with gradient index

Duan Zhiping¹,
Zhou Jiulin²

1.
Pingyuan Optical Instrument Plant;
2.
Southwest Institute of Technical Physics

摘要: 引方在使用两个蒸发源对膜料进行气相混合蒸镀的过程中,如果使两种膜料的淀积速率之比随时间的增加而不断地变化,则可以得到折射率随膜层厚度变化的非均匀混合膜层,具有变折射率的非均匀混合膜层,为薄膜光学开辟了一个新的领域,它在一定程度上使传统的膜系设计得到翻新,它的独特性能对薄膜的发展有着重要意义.
Abstract: The experimental method to deposite variableindex layers has been described in detail in which the CO-vaporation or vapor-phase mixed technique is used,and a series of precautions during CO-vaporation deposition have been presented.As an example,a three-layer antireflection coating with a gradient index layer has been given.

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变折射率膜层的获得——实用气相混合蒸镀技术之二

段致平¹
周九林²

1. 平原光学仪器厂;
2. 西南技术物理所

收稿日期: 1987-06-03
网络出版日期: 1987-11-25

摘要: 引方在使用两个蒸发源对膜料进行气相混合蒸镀的过程中,如果使两种膜料的淀积速率之比随时间的增加而不断地变化,则可以得到折射率随膜层厚度变化的非均匀混合膜层,具有变折射率的非均匀混合膜层,为薄膜光学开辟了一个新的领域,它在一定程度上使传统的膜系设计得到翻新,它的独特性能对薄膜的发展有着重要意义.