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本文中的研究内容为可见光光谱辐射计波长标定技术,实验原理如图 3所示。整个系统主要由探头、低压汞灯、狭缝、聚焦镜、光栅、准直镜、滤光片、线阵CCD等组成。
图 4所示为标定实验装置。测量时,探头对光源进行瞄准,光源发出的光通过光纤进入狭缝后到达准直物镜,准直物镜对来自狭缝的发散光进行准直形成平行光,随后平行光到达光栅,光栅对其进行色散分光形成单色光后照射在聚焦镜上,光束最终经聚焦镜会聚到达探测器。其中,探测器上的滤光片用于滤除高级衍射光谱。探测器进行光电转换,并通过网线接口将采集到的原始信号传输至上位机。表 1所示为各器件具体参数。
item parameters mercury lamp type:LHM254 probe(camera lens) focal length:50 mm collimating mirror focusing mirror radius:300 mm focal length:150 mm CCD 8 μm×200 μm, number of pixels:3648 grating lines:300 lp/mm size:50 mm×50 mm blaze wavelength:500 nm slit 0.1 mm Table 1. Specific parameters of each device
对于标准光源,其特征峰波长应该覆盖在光谱辐射计的工作波长范围内,同时谱线间隔应该大于光学系统的分辨率,否则谱线将不能被分辨。本文中使用的低压汞灯有11条特征峰,图 5所示为汞灯标准线谱[21],适用于250 nm~1000 nm范围的波长标定。特征波长分别为253.6521 nm,296.7283 nm,302.1504 nm,313.1555 nm,334.148 nm,365.0158 nm,404.6565 nm,435.8335 nm,546.0750 nm,576.9610 nm和579.0670 nm。其中有6个特征峰不在可见光光谱辐射计的工作波段,不参与波长标定,剩余5个特征峰均能够被分辨。参与波长标定的特征波长分别为404.6565 nm,435.8335 nm,546.0750 nm,576.9610 nm和579.0670 nm。
搭建好实验平台后完成对汞灯预热,将CCD与计算机连接,调节光路和积分时间使CCD能够采集到光源的5条特征谱。为了减小随机误差的干扰,对汞灯光谱数据采集20组并求均值。
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根据第1节中迭代的谱线检测算法,迭代过程中依次检测出的特征谱线如图 6a、图 6b所示。
根据图 6可以观察到,标准光源的特征谱线根据信号大小依次被检测出来,从而有效地防止了把微小噪声误判为特征峰的现象。由于直接极值峰位判定是采用搜寻曲线的局部极大值确定特征峰像素位置,而高斯拟合峰位判定是在局部极值法的基础上,对每个特征峰在其边界范围内左右依次取n个像素数据进行高斯拟合定位,并利用拟合误差逐次确定高斯拟合像素点的数目,因此存在较大噪声时,拟合的峰位也与真实峰位十分接近。最终确定对极值法检测出的峰位,左右依次取4个像素数据进行高斯拟合定位。表 2所示为特征波长及两种峰位判断方法对应的峰值位置。
serial number characteristic wavelength/nm pixel position Gaussian position 1 404.6565 119 119.6208 2 435.8335 306 306.1324 3 546.0750 967 965.9072 4 576.9610 1143 1143.7210 5 579.0670 1156 1155.6497 Table 2. Characteristic wavelength and peak positions for different methods
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传统的波长标定方法采用基于最小二乘原理的多项式拟合法来获得波长和像元位置的关系,但数学中插值与拟合均能够获得数据间的近似关系。本文中将在多项式拟合法的基础上引入拉格朗日插值法,分别采用拟合和插值两种方法来获得波长标定方程,通过精度评估以确定最佳波长标定方程。
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对于高阶多项式,多项式次数增加会提高精度,但是随着多项式次数的增加拟合结果反而越偏离原函数[22]。因此需要从低到高逐次比较残差分布特性确定拟合级次。
在确定多项式拟合级次时,通过逐步比较分析残差分布特性,最终确定拟合级次为3。当拟合级次超过3时,残差水平反而增加。图 7所示为直接极值峰位判定和高斯拟合峰位判定的最小二乘拟合结果。
Figure 7. Least squares fitting results a—wavelength calibration equation of direct peak position detection b—wavelength calibration equation of Gaussian fitting peak position detection
图 7中给出了直接极值峰位判定与高斯拟合峰位判定波长标定方程。二者的3次多项式拟合方程分别为:
相邻两像素的波长间隔计算公式[23]如下式所示:
式中:Δλ表示相邻像素的波长间隔;λ1为第1个特征峰的波长;λend为最后一个特征峰的波长;x1为第1个特征峰的像元位置;xend为最后一个特征峰的像元位置。
表 3所示为直接极值定位最小二乘拟合和高斯拟合定位最小二乘拟合残差数据。
method residual/nm mean squared error/nm direct peak position detection ±0.1097 0.06642 Gaussian fitting peak position detection ±5.86×10-4 3.5578×10-4 Table 3. Residual distribution and mean squared error for the least squares method
由表 3可知,采用最小二乘拟合法,直接极值峰位判定和高斯拟合峰位判定的残差分别为±0.1097 nm,±5.86×10-4nm。采用式(7)计算相邻两像素波长间隔为0.17 nm,并利用残差标准差对波长标定不确定度进行评估,两种峰位检测方法的残差标准差分别为0.06642 nm和3.5578×10-4nm,其中高斯拟合峰位判定的残差标准差仅为直接极值峰位判定的1/186。因此针对最小二乘拟合,采用高斯拟合定位作为波长标定方程。对波长标定不确定度进行评估:在包含因子k=1时,波长标定不确定度为u≈3.5578×10-4nm,波长标定可靠度水平为68%;在包含因子k=2时,波长标定不确定度为u=2×3.5578× 10-4nm≈7.1556×10-4nm,波长标定可靠度水平为95%。利用最小二乘法最终确定的波长标定方程如式(6)所示。
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根据第3.2.1小节中确定的多项式为3次多项式,对于3次多项式,需要4个数据节点。本次波长标定共有5个数据点,分别为: λ1、λ2、λ3、λ4、λ5,共有C51=5种组合。图 8a和图 8b所示为直接极值峰位判定的不同波长组合的拉格朗日插值多项式结果;图 8c为高斯拟合峰位判定的不同波长组合的拉格朗日插值多项式结果。
Figure 8. Results of Lagrange polynomial interpolation a—direct peak position detection: λ1λ2λ3λ4, λ1λ2λ3λ5, λ1λ2λ4λ5 b—direct peak position detection: λ1λ3λ4λ5, λ2λ3λ4λ5 c—Gaussian fitting peak position detection: λ1λ2λ3λ4, λ1λ2λ3λ5, λ1λ2λ4λ5, λ1λ3λ4λ5, λ2λ3λ4λ5
在图 8a中,曲线1、2、3分别表示以λ1λ2λ3λ4、λ1λ2λ3λ5和λ1λ2λ4λ5为基础的直接极值峰位判定的拉格朗日插值结果,对应波长标定方程分别如式(8)~ 式(10)所示。
在图 8b中,曲线1、2分别表示以λ1λ3λ4λ5和λ2λ3λ4λ5为基础的直接极值峰位判定的拉格朗日插值结果,对应波长标定方程分别如式(11)和式(12)所示。
在图 8c中,曲线1,2,3,4,5分别表示以λ1λ2λ3λ4,λ1λ2λ3λ5,λ1λ2λ4λ5,λ1λ3λ4λ5,λ2λ3λ4λ5为基础的高斯拟合峰位判定的拉格朗日插值结果,对应波长标定方程分别如式(13)~式(17)所示。
根据光栅色散方程,在一定程度上波长和CCD像素位置的关系可近似为线性关系。由图 8可知,对于直接峰位判定:以λ1λ3λ4λ5为基准的组合在像元位置为3097时,波长的拟合值开始变为负值,以λ2λ3λ4λ5为基准的组合在像元位置为2968时,波长的拟合值开始变为负值,以λ1λ2λ4λ5基准的组合在波长从650 nm开始,曲线的非线性特征增加,出现了拟合值明显偏离真实值的情况;对于高斯拟合峰位判定:从插值曲线难以判断最优波长标定方程。因此通过对比不同残差对所有波长组合进行评估。表 4所示为直接极值定位拉格朗日插值和高斯拟合定位拉格朗日插值残差数据。
λ1λ2λ3λ4 λ1λ2λ3λ5 λ1λ2λ4λ5 λ1λ3λ4λ5 λ2λ3λ4λ5 residual of direct peak position detection/nm ±3.41×10-12 ±2.84×10-12 ±1.69393×10-11 ±2.98×10-11 ±7.59×10-11 residual of Gaussian fitting peak position detection/nm ±2.27×10-12 ±6.82×10-13 ±1.09×10-11 ±8.21×10-11 ±1.64×10-10 Table 4. Lagrange polynomial residual distribution range
由表 4可知,采用拉格朗日插值法,残差最小的是以λ1λ2λ3λ5为基准的高斯拟合方法,波长标定残差分布在±6.82×10-13nm范围内,经计算其残差标准差为3.2747×10-13nm。因此采用λ1λ2λ3λ5组合的高斯拟合定位作为波长标定方程。对其波长标定不确定度进行评估:在包含因子k=1时,波长标定不确定度为u≈3.2747×10-13nm,波长标定可靠度水平为68%;在包含因子k=2时,波长标定不确定度为u≈2×3.2747×10-13nm=6.549410-13nm,波长标定可靠度水平为95%。利用拉格朗日插值法最终确定的波长标定方程为:
通过对最小二乘法和拉格朗日插值法得到的拟合曲线及残差特性分析可知,拉格朗日插值法的残差较最小二乘法更小,同时在380 nm~980 nm波长范围内拟合曲线均近似为线性。根据光栅色散原理,波长与像素位置存在一定的线性特征。因此确定采用高斯拟合的以λ1λ2λ3λ5为基准的格朗日插值结果作为波长标定方程,最终确定的波长标定方程如式(18)所示。
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为了验证标定精度,本文中采用多种激光对其它波长进行实验验证。通过将实测波长与标准波长进行对比,从而验证波长标定精度。表 5所示为不同波长的测试结果。
standard wavelength/nm measured wavelength/nm error/nm 460.00 460.11 0.11 532.00 531.96 -0.04 650.00 650.16 0.16 Table 5. Result of wavelength test
通过对表 5的数据分析可知,采用不同激光光源进对波长标定精度进行验证,实测值与标准值偏差分布在±0.2 nm范围内。