为了提高对液晶空间光调制器（LC-SLM）的校准精度，采用高位深相位光栅图对LC-SLM进行了标定。在LC-SLM上加载16位深度相位光栅图，并使光束经LC-SLM调制后生成衍射光斑；测量衍射光斑中心光强，经过计算分析得出计算机灰度信号与相位调制量之间的映射关系，最终得出针对488nm激光的LC-SLM标定LUT文件（LUT16）。结果表明，在LC-SLM上加载0~2π涡旋相位，并结合LUT16文件调制光束可以得到光斑质量很好的中空光斑，这与结合LUT8文件调制的中空光斑相比，光斑质量从0.53提高到0.76，提高了1.43倍。针对特定波长，利用高位深相位光栅图标定LC-SLM得到的LUT文件可以使LC-SLM根据加载相位对光束进行有效调制，且调制效果优于结合LUT8对光束进行调制的结果，对LC-SLM的校准精度得到提高。