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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用
黄河, 朱晓, 朱长虹, 朱广志, 李跃松, 张沛, 万承华
2007, 31(3): 330-332.
关键词: 激光技术, 光化学, 光掩模修复, 激光化学气相沉积, 开放式