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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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LIGA工艺中微电铸工艺研究
马龙, 周月豪, 熊良才, 柳海鹏, 史铁林
2006, 30(1): 47-49.
关键词: 微电铸, LIGA, 准分子激光, PMMA