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选用厂家生产的长20cm、宽8cm、厚0.3cm的半钢化玻璃作为样品,如图 7所示。
将样品放置在自动载物台上,以样品的一端点作为原点建立坐标系,在a区域中坐标为(0.5,0.5)cm处重复测量10次以评估系统重复性,测量结果如图 8所示。单点测量最大偏差为6.7nm/cm, 标准差为2.52nm/cm。
在上述测量过程中作者注意到电箱的输出电压存在漂移和波动的现象,导致压电陶瓷扫描外腔时的驱动电压不稳定,对测量结果的精确度与重复性产生较大影响。经过排除电箱中电源模块及信号放大模块等影响因素后,认为在相同时间内,电箱较大的电压变化梯度会导致其稳定性下降。因此为平衡电箱稳定性与电压输出范围的关系,通过增大控制电压的时间间隔降低输出电压的变化梯度,使电箱持续稳定地为器件供电。
在改善电箱的稳定性能后,继续在a, b, c, d 4个边缘区域中选择A点(0.5,0.5)cm、B点(19.5,0.5)cm、C点(0.5,7.5)cm、D点(19.5,7.5)cm作为测量点进行10次重复测量,记录各次测量的应力双折射平均值与极值,测量结果如表 1所示。
times the stress value of the sample/(nm·cm-1) point A point B point C point D 1 817.9 880.6 867.4 801.9 2 815.8 879.6 866.9 801.4 3 815.3 879.1 866.3 800.7 4 819.5 878.9 867.1 796.8 5 817.8 879.9 868.6 798.8 6 818.3 882.5 865.4 798.6 7 818.5 878.6 866.8 798.8 8 817.9 882.3 867.3 799.5 9 814.6 879.7 864.7 800.8 10 814.9 880.9 866.5 798.3 minimum 814.6 878.6 864.7 796.8 maximum 819.5 882.5 868.6 801.9 mean 817.05 880.21 886.7 799.56 standard deviation 1.73 1.35 1.08 1.60 Table 1. Stress birefringence measurement data of semi-tempered glass (1)
由表中数据可知,4个测量点的应力双折射值均在半钢化玻璃国家标准[19]中规定的624nm/cm~1794nm/cm范围内,样品属于合格的半钢化玻璃。其中单点最大偏差为5.1nm/cm,最大标准差为1.73nm/cm,多次测量结果的重复性较好。为检测系统长期工作的重复性与稳定性,随机选取同一批次中的另一块半钢化玻璃作为实验样品,重复上述测量过程,测量结果如表 2所示。
times the stress value of the sample/(nm·cm-1) point A point B point C point D 1 817.2 879.1 797.6 864.4 2 816.8 882.7 797.6 865.4 3 817.9 880.2 798.5 865.0 4 817.2 881.5 800.1 865.1 5 813.4 880.1 797.0 863.7 6 818.2 881.2 802.6 861.4 7 817.9 879.5 796.9 864.7 8 816.3 879.9 799.0 867.3 9 819.5 880.6 796.8 863.8 10 818.0 882.8 798.3 863.6 minimum 813.4 879.1 796.8 861.4 maximum 819.5 882.8 802.6 867.3 mean 817.24 880.76 798.44 864.44 standard deviation 1.61 1.27 1.79 1.52 Table 2. Stress birefringence measurement data of semi-tempered glass (2)
同样,测量结果验证了该样品符合国家标准规定,该次测量的单点最大偏差为6.1nm/cm,标准差为1.79nm/cm,重复性较好。综合两组不同样品的测试结果进行对比,4个测试点中的单次测量最小偏差为3.7nm/cm, 偏差最大为6.1nm/cm, 造成测量偏差的原因除了测试环境的细微差别外,还有激光器自身特性的微小变化[20],均属于正常的随机误差范围,测量结果标准差平均低于2.0nm/cm,在一定程度上达到稳定测量的要求。