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脉冲绿激光划切蓝宝石基片的工艺参量研究

谢小柱 高勋银 陈蔚芳 魏昕 胡伟

引用本文:
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脉冲绿激光划切蓝宝石基片的工艺参量研究

    作者简介: 谢小柱(1975-),男,副教授,博士,主要从事激光加工、精密加工技术等方面的研究。E-mail:xiaozhuxie@gdut.edu.cn.
  • 基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(50805027);广东省自然科学基金资助项目(S2013010014070);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金资助项目

  • 中图分类号: TN249

Study on scribing parameters of sapphire substrate with pulse green laser

  • CLC number: TN249

  • 摘要: 为了提高划切蓝宝石的成品率和划切效率,研究了脉冲绿激光(波长532nm)的偏振性、脉冲激光能量、激光焦点位置、扫描速率、扫描次数等工艺参量对蓝宝石基片划切质量的影响。结果表明,脉冲绿激光划切蓝宝石基片时,扫描方向平行于入射面线偏振方向,焦点位置为负离焦50μm,可以获得良好的微划槽;脉冲激光能量增加,划槽深度和宽度增加;扫描速率增加,切槽深度减小,划槽宽度先增加后减小;扫描次数增加,划槽深度和宽度增加。这些结果对合理选择激光划切蓝宝石基片工艺参量以获得较好质量的刻槽有一定帮助。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-10-11
  • 录用日期:  2013-10-31
  • 刊出日期:  2014-09-25

脉冲绿激光划切蓝宝石基片的工艺参量研究

    作者简介: 谢小柱(1975-),男,副教授,博士,主要从事激光加工、精密加工技术等方面的研究。E-mail:xiaozhuxie@gdut.edu.cn
  • 1. 广东工业大学 机电工程学院, 广州 510006;
  • 2. 南京航空航天大学 机电学院, 南京 210016;
  • 3. 江苏省精密与微细制造技术重点实验室, 南京 210016
基金项目:  国家自然科学基金资助项目(50805027);广东省自然科学基金资助项目(S2013010014070);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金资助项目

摘要: 为了提高划切蓝宝石的成品率和划切效率,研究了脉冲绿激光(波长532nm)的偏振性、脉冲激光能量、激光焦点位置、扫描速率、扫描次数等工艺参量对蓝宝石基片划切质量的影响。结果表明,脉冲绿激光划切蓝宝石基片时,扫描方向平行于入射面线偏振方向,焦点位置为负离焦50μm,可以获得良好的微划槽;脉冲激光能量增加,划槽深度和宽度增加;扫描速率增加,切槽深度减小,划槽宽度先增加后减小;扫描次数增加,划槽深度和宽度增加。这些结果对合理选择激光划切蓝宝石基片工艺参量以获得较好质量的刻槽有一定帮助。

English Abstract

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