飞秒激光在SiC晶体中制备高温环境用光栅

高胜英; 高仁喜; 侯圣文; 李岩; 刘一; 曲士良

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.009

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飞秒激光在SiC晶体中制备高温环境用光栅

高胜英 , 高仁喜 , 侯圣文 , 李岩 , 刘一 , 曲士良

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Citation:

飞秒激光在SiC晶体中制备高温环境用光栅

1.
哈尔滨工业大学(威海)理学院光电科学系, 威海264209

作者简介: 高胜英(1986- ),男,硕士研究生,现主要从事基于碳化硅的微光学器件飞秒激光加工的研究。.

通讯作者: 高仁喜, gaorenxi@163.com ;

基金项目:
哈尔滨工业大学科研创新基金资助项目(HIT.NSRIF.2011121);山东省自然科学基金资助项目(ZR2010FQ007)
中图分类号: TN253

High temperature SiC gratings inscribed with femtosecond laser

1.
Department of Optoelectronic Science, School of Science, Harbin Institute of Technology at Weihai, Weihai 264209, China

Corresponding author: GAO Ren-xi, gaorenxi@163.com ;

CLC number: TN253

摘要: 为了研究SiC晶体光学方面的应用,利用飞秒激光冷加工的特点,对SiC晶体进行精微加工,研究了激光脉冲功率和扫描速率对光栅单元的影响,选取适合SiC晶体飞秒加工的工作条件,分别在晶体表面与内部加工出高质量的光栅。对加工好的光栅进行衍射通光实验,计算其各级衍射角,从而验证加工好的光栅周期;并在1300℃高温下进行退火实验,退火前后,光栅参量无明显变化。结果表明,该光栅适合在高温环境下使用。
- 光学器件 /
- 光栅 /
- 飞秒激光 /
- SiC晶体 /
- 高温环境
Abstract: In order to study SiC crystal application in optics,the grating structures on the surface and inside of SiC crystals were fabricated using femtosecond laser cold processing method,respectively.The effect of femtosecond laser power density and scanning speeds was studied in detail.Finally,the gratings were fabricated under appropriate processing conditions.After that the gratings period was verified in the diffraction experiments and the diffraction angles at different orders were calculated,the gratings were annealed at 1300℃,the grating parameters had no obvious change after annealing.It indicates that the fabricated gratings in SiC can be applied in high temperature environment.
- optical devices /
- grating /
- femtosecond /
- SiC crystal /
- high temperature environment

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飞秒激光在SiC晶体中制备高温环境用光栅

通讯作者: 高仁喜, gaorenxi@163.com;

作者简介: 高胜英(1986- ),男,硕士研究生,现主要从事基于碳化硅的微光学器件飞秒激光加工的研究。

1. 哈尔滨工业大学(威海)理学院光电科学系, 威海264209

收稿日期: 2012-03-10
录用日期: 2012-03-30
网络出版日期: 2012-11-25

基金项目: 哈尔滨工业大学科研创新基金资助项目(HIT.NSRIF.2011121);山东省自然科学基金资助项目(ZR2010FQ007)

关键词:

摘要: 为了研究SiC晶体光学方面的应用,利用飞秒激光冷加工的特点,对SiC晶体进行精微加工,研究了激光脉冲功率和扫描速率对光栅单元的影响,选取适合SiC晶体飞秒加工的工作条件,分别在晶体表面与内部加工出高质量的光栅。对加工好的光栅进行衍射通光实验,计算其各级衍射角,从而验证加工好的光栅周期;并在1300℃高温下进行退火实验,退火前后,光栅参量无明显变化。结果表明,该光栅适合在高温环境下使用。