YAG激光参量对刻蚀微坑形貌的影响

占剑; 杨明江

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2011.02.026

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YAG激光参量对刻蚀微坑形貌的影响

占剑 , 杨明江

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引用本文:

Citation:

YAG激光参量对刻蚀微坑形貌的影响

占剑,
杨明江^,

1.
中国科学院力学研究所, 北京, 100080

作者简介: 占剑(1981- ),男,博士研究生,主要从事光电能量耦合材料表面强化、激光刻蚀微坑工艺及表面形貌摩擦损耗特性方面的研究工作..

通讯作者: 杨明江, ymjl@imech.ac.cn

中图分类号: TN249;TG665

Effect of YAG laser parameters on etching crater morphology

ZHAN Jian,
YANG Ming-jiang^,

1.
Institute of Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China

Corresponding author: YANG Ming-jiang, ymjl@imech.ac.cn

CLC number: TN249;TG665

摘要: 为了增加单次激光脉冲刻蚀微坑的深度,提高加工效率,利用双声光调制技术,通过对比不同能量密度的脉冲激光刻蚀微坑深度,及对比两种激光器输出的激光脉冲刻蚀微坑形貌,研究了激光参量对刻蚀微坑形貌的影响。结果表明,脉冲能量密度为20.21J/cm2时,刻蚀微坑深度达到最大值,继续增加能量密度时,微坑深度将随之减小;相比于单腔激光器,双腔激光器刻蚀微坑深度从5μm增加至10μm,微坑直径从161μm降至134μm。
- 激光技术 /
- 激光刻蚀 /
- 脉冲能量密度 /
- 微坑表面形貌
Abstract: In order to increase the etching depth with one laser pulse and promote the production efficiency,the effect of laser parameters on the etching depth was studied by means of double acousto-optic modulation technique after comparing the laser pulse etching crater morphology under different pulse energy density and two different lasers.The results showed:when the pulse energy density was 20.21 J/cm2,the etching crater depth reached the maximum,and when continuing to increase the energy density,the crater depth would be reduced;compared with single-cavity laser,the crater depth with two-cavities laser increased from 5μm to 10μm,and the crater diameter reduced from 161 μm to 134μm.
- laser technique /
- laser etching /
- pulse energy density /
- crater surface morphology

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YAG激光参量对刻蚀微坑形貌的影响

占剑
杨明江^,

通讯作者: 杨明江, ymjl@imech.ac.cn

作者简介: 占剑(1981- ),男,博士研究生,主要从事光电能量耦合材料表面强化、激光刻蚀微坑工艺及表面形貌摩擦损耗特性方面的研究工作.

1. 中国科学院力学研究所, 北京, 100080

收稿日期: 2010-04-22
录用日期: 2010-05-17
网络出版日期: 2011-03-25

关键词:

摘要: 为了增加单次激光脉冲刻蚀微坑的深度,提高加工效率,利用双声光调制技术,通过对比不同能量密度的脉冲激光刻蚀微坑深度,及对比两种激光器输出的激光脉冲刻蚀微坑形貌,研究了激光参量对刻蚀微坑形貌的影响。结果表明,脉冲能量密度为20.21J/cm2时,刻蚀微坑深度达到最大值,继续增加能量密度时,微坑深度将随之减小;相比于单腔激光器,双腔激光器刻蚀微坑深度从5μm增加至10μm,微坑直径从161μm降至134μm。