干涉法测量光学材料光学非均匀性

刘旭; 任寰; 于德强; 杨一; 郑芳兰

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2011.02.013

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干涉法测量光学材料光学非均匀性

刘旭 , 任寰 , 于德强 , 杨一 , 郑芳兰

文章导航 > 激光技术 > 2011 > 35(2): 189-192

引用本文:

Citation:

干涉法测量光学材料光学非均匀性

1.
中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 绵阳, 621900

作者简介: 刘旭(1983- ),男,硕士,从事光学检测技术的研究.E-mail:zjuliuxu@gmail.com.

基金项目:
国家八六三高技术研究发展计划资助项目
中图分类号: TN249

Measurement method for inhomogeneity of optical material by means of interferometry

1.
Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China
CLC number: TN249

摘要: 为了实现光学材料光学非均匀性的高精度检测,采用将光学材料制成一小楔角(小于0.117°)光学元件并利用菲索干涉法检测其光学非均匀性的方法,对测量过程进行了理论仿真分析和熔石英材料光学非均匀性的实验验证,取得了熔石英材料的光学非均匀性数据,峰谷值为4.33×10-6,均方根值为0.862×10-6,测量准确度优于4.8×10-7。结果表明,该测量方法能有效避免目前检测方法中将光学材料制成平板元件而引起干涉混叠的现象。
- 测量与计量 /
- 干涉测量 /
- 光学非均匀性 /
- 计算机仿真 /
- 高功率激光系统
Abstract: In order to measure inhomogeneity of optic material accurately,an optical wedge was prepared at a small angle less than 0.117°.Then its inhomogeneity was measured with a Fizeu interferometer.This method was proved to be correct by simulation and experiments in which the inhomogeneity of fused silica was measured,and the peak to valley value of fused silica was 4.33×10-6,and the root mean square value was 0.862×10-6,and the accuracy of this method was less than 4.8×10-7. The results show that the light reflected either from the front surface or from the near surface can be distinguished with this method.
- measurement and metrology /
- interferometer measurement /
- optical inhomogeneity /
- computer simulation /
- high power laser system

[1]	JI X L,TAO X Y,LÜ B D,et al.Influence of laser non-uniformity and thermal effects in an inner optical system on the far-field behavior[J].Chinese Journal of Laser,2004,31 (10):1193-1197 (in Chinese).
[2]	REITMAYER F,SCHUSTER E.Homogeneity of optical glasses[J].Applied Optics,1972,11(5):1107-1111.
[3]	LIU L Q,ZHU Q H,ZHOU K N,et al.Wavefront distortion measurement in high power ultra-short pulse Ti:sapphire laser system[J].Laser Technology,2007,31 (1):95-97 (in Chinese).
[4]	TENTORY D.Homogeneity testing of optical glass by holographic intefferometry[J].Applied Optics,1991,30 (7):1399-1404.
[5]	GUO P J,YU J Ch,DING Zh Z,et al.Absolute testing method of the homogeneity of optical glass[J].Laser Journal,2003,30(9):1399-1404(in Chinese).
[6]	CHIAYU A,JAMES C W.Measurement of the inhomogeneity of a window[J].Optics Engineering,1991,30(9):1399-1404.
[7]	ZHANG H R,XU G F,LI B,et al.Measurement of optical homogeneity of MgO:LiNbO3 crystal for optical waveguidc[J].Laser Technology,1999,23(6):342-343(in Chinese).
[8]	CHEN G B.Uniformity of local optical thickness for GaN-besed material[J].Laser Technology,2006,30(3):301-303 (in Chinese).
[9]	ZHAO L,ZHAO Y P,YANG J,et al.Uniformity test of optical glass by laser holography[J].Infrared and Laser Engineering,2006,35(1):98-101 (in Chinese).
[10]	ROBERTS F E,LANGENBECK P.Homogeneity evaluation of very large disks[J].Applied Optics,1969,8 (11):2311-2314.

[1]	刘长久 , 杨华军 , 赖燔 . 空间交会激光雷达信息测量技术. 激光技术, 2006, 30(6): 608-610,613.
[2]	刘俊国 , 吕志伟 , 王雨雷 . 一种研究不均匀介质中激光传输的新方法. 激光技术, 2008, 32(4): 441-444.
[3]	吴斌 , 杨松 . 非正交轴系激光经纬仪测量技术研究. 激光技术, 2015, 39(5): 603-609. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.05.005
[4]	秦玉伟 . 光学相干层析成像用于微机电系统测量研究. 激光技术, 2013, 37(5): 664-667. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.05.022
[5]	朱红伟 , 叶会英 . 光反馈自混合干涉系统反馈水平的研究与测量. 激光技术, 2010, 34(6): 847-850. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.06.034
[6]	范宜艳 , 赵斌 , 马国鹭 . 基于光学标靶与测距仪的隐藏区域坐标测量. 激光技术, 2014, 38(6): 723-728. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.001
[7]	杜志广 , 颜树华 , 林存宝 , 王国超 , 魏春华 . 双路信号相位同步测量系统设计与实现. 激光技术, 2016, 40(3): 315-319. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.03.003
[8]	李恒鹤 , 马森 , 谢芳 . 高稳定大量程复合光纤干涉位移测量系统研究. 激光技术, 2012, 36(6): 738-741. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.007
[9]	李潇潇 , 张志恒 , 张效宇 , 曹杰君 , 曹兆楼 . 基于像散的光学元件厚度非接触测量研究. 激光技术, 2019, 43(6): 741-746. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.06.002
[10]	胡林亭 , 史德民 , 李佩军 , 任成才 . 激光监测系统测量精度的检测方法. 激光技术, 2008, 32(6): 670-672.
[11]	张德斌 , 宋余华 , 王全胜 , 杜亚清 , 张新兴 , 张豪 . 激光发散角测量的误差分析. 激光技术, 2016, 40(6): 926-929. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.06.031
[12]	杨丽 , 孙建华 . 生物组织光学特性参量的图像测量研究. 激光技术, 2010, 34(6): 743-746,769. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.06.007
[13]	魏继锋 , 彭勇 , 高学燕 , 周山 . 简易型大直径激光束功率能量在线测量装置. 激光技术, 2011, 35(3): 322-325. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.03.010
[14]	周策策 , 李杏华 . 基于机器视觉的螺纹参量测量系统. 激光技术, 2016, 40(5): 643-647. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.05.006
[15]	刘顺涛 , 骆华芬 , 陈雪梅 , 徐静 . 结构光测量系统的标定方法综述. 激光技术, 2015, 39(2): 252-258. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.02.023
[16]	金岩华 , 叶会英 , 孙瑶 . 基于相位解卷的位移测量系统. 激光技术, 2009, 33(4): 359-361,365. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.04.007
[17]	孙卿 , 杨凌辉 . 基于测距传感器的WMPS非接触测量方法. 激光技术, 2016, 40(5): 670-675. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.05.011
[18]	肖长江 , 张景超 , 魏勇 , 李兴元 , 胡学良 . 基于激光视觉原理测量玻璃中气泡的尺寸. 激光技术, 2015, 39(3): 391-394. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.03.024
[19]	于洪 . 飞秒激光脉冲宽度测量研究. 激光技术, 2013, 37(5): 679-681. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.05.025
[20]	吴兆勇 , 杜正春 . 基于误差椭球的激光测量系统的不确定度分析. 激光技术, 2017, 41(1): 29-33. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.01.007

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干涉法测量光学材料光学非均匀性

作者简介: 刘旭(1983- ),男,硕士,从事光学检测技术的研究.E-mail:zjuliuxu@gmail.com

1. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 绵阳, 621900

收稿日期: 2010-04-28
录用日期: 2010-07-02
网络出版日期: 2011-03-25

基金项目: 国家八六三高技术研究发展计划资助项目

关键词:

摘要: 为了实现光学材料光学非均匀性的高精度检测,采用将光学材料制成一小楔角(小于0.117°)光学元件并利用菲索干涉法检测其光学非均匀性的方法,对测量过程进行了理论仿真分析和熔石英材料光学非均匀性的实验验证,取得了熔石英材料的光学非均匀性数据,峰谷值为4.33×10-6,均方根值为0.862×10-6,测量准确度优于4.8×10-7。结果表明,该测量方法能有效避免目前检测方法中将光学材料制成平板元件而引起干涉混叠的现象。