157nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响

戴玉堂; 崔健磊; 徐刚; 白帆

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.011

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157nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响

戴玉堂 , 崔健磊 , 徐刚 , 白帆

文章导航 > 激光技术 > 2011 > 35(1): 36-38,85

引用本文:

Citation:

157nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响

1.
武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室, 武汉 430070

作者简介: 戴玉堂(1965-)，男，教授，主要从事激光微加工和超精密精近代加工等方面的研究.

基金项目:
国家自然科学基金资助项目(50775169)
中图分类号: TN249

Influence of laser parameters on etching performance during 157nm laser micromachining

1.
Key Laboratory of Fiber Optic Sensing Technology, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China
CLC number: TN249

摘要: 为了研究157nm激光工艺参量对刻蚀性能的影响,采用157nm深紫外激光对两种宽禁带材料(石英玻璃和蓝宝石)进行微刻蚀试验,得到了理想的工艺参量范围,蓝宝石的刻蚀速率大约是石英玻璃的一半,并且蓝宝石的刻蚀表面要比石英玻璃粗糙得多。随着刻蚀深度的增加,光解生成物的脱出变得困难,从而导致刻蚀速率的降低。选用较高的扫描速率和较低脉冲频率的组合进行激光扫描刻蚀能有效地降低刻蚀面的粗糙度。结果表明,对非金属材料的刻蚀,激光的能量密度在材料刻蚀阈值的2.5倍～4倍时能获得较好的刻蚀效果。
- 激光技术 /
- 157nm激光 /
- 激光参量 /
- 刻蚀效率 /
- 刻蚀质量
Abstract: To investigate the effect of 157nm laser parameters on the ablation performance, two wide band-gap materials (fused silica and sapphire) were employed in 157nm laser micromachining experiments, and ideal parameter range of laser process was obtained. The ablation rate of sapphire is approximately half of that of fused silica, and the ablated surface of sapphire is much rougher than that of fused silica. With the increase of etching depth, the generated particles are difficult to escape from micro-structures so that the ablation rate decreases. For laser scanning, higher velocity and lower pulse repetition rate are favorable for reducing the surface roughness. Experimental results show that, for the etching of nonmetal materials, the laser fluence should be controlled 2.5 times~4 times of energy threshold of the ablated material, so as to get better etching effect.
- laser technique /
- 157nm laser /
- laser parameter /
- etching efficiency /
- etching quality

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157nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响

作者简介: 戴玉堂(1965-)，男，教授，主要从事激光微加工和超精密精近代加工等方面的研究

1. 武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室, 武汉 430070

收稿日期: 2010-01-26
录用日期: 2010-04-01
网络出版日期: 2011-01-25

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(50775169)

关键词:

摘要: 为了研究157nm激光工艺参量对刻蚀性能的影响,采用157nm深紫外激光对两种宽禁带材料(石英玻璃和蓝宝石)进行微刻蚀试验,得到了理想的工艺参量范围,蓝宝石的刻蚀速率大约是石英玻璃的一半,并且蓝宝石的刻蚀表面要比石英玻璃粗糙得多。随着刻蚀深度的增加,光解生成物的脱出变得困难,从而导致刻蚀速率的降低。选用较高的扫描速率和较低脉冲频率的组合进行激光扫描刻蚀能有效地降低刻蚀面的粗糙度。结果表明,对非金属材料的刻蚀,激光的能量密度在材料刻蚀阈值的2.5倍～4倍时能获得较好的刻蚀效果。