Cu掺杂ZnO薄膜光学性质的研究

于业梅; 李清山; 李新坤; 徐言东; 蒙岩峰

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.007

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Cu掺杂ZnO薄膜光学性质的研究

于业梅 , 李清山 , 李新坤 , 徐言东 , 蒙岩峰

文章导航 > 激光技术 > 2010 > 34(4): 456-458,528

引用本文:

Citation:

Cu掺杂ZnO薄膜光学性质的研究

1.
曲阜师范大学物理工程学院曲阜 273165;
2.
鲁东大学烟台 264025

作者简介: 于业梅(1980- ),女,硕士研究生,主要从事纳米功能材料与器件的研究..

通讯作者: 李清山, qsli@du.edu.cn ;

中图分类号: O484.4⁺1

Optical characteristics study of the Cu-doped ZnO thin films

1.
College of Physics and Engineering, Qufu Normal University, Qufu 273165, China;
2.
Ludong University, Yantai 264025, China

Corresponding author: LI Qing-shan, qsli@du.edu.cn ;

CLC number: O484.4⁺1

摘要: 为了制备结晶质量好的Cu掺杂ZnO薄膜,研究其结构和光学性质,采用脉冲激光沉积方法,在Si衬底上选择不同的衬底温度来制备薄膜。实验成功制得了结晶质量较好的Cu掺杂ZnO薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光分光光度计对样品进行了测量和分析。所制备的样品均表现出高度的c轴择优取向,衬底温度为300℃时,薄膜表面形貌均匀致密;在样品的光致发光谱中,发现样品除了在380nm附近出现紫外发光峰外,在460nm附近出现了蓝光发光峰,真正意义上实现了ZnO薄膜的蓝光发射。结果表明,衬底温度对其晶体质量有较大影响。
- 薄膜 /
- Cu掺杂ZnO /
- 脉冲激光沉积 /
- 蓝光发射
Abstract: In order to prepare good crystalline quality of Cu-doped ZnO thin films and study its structure,the film was prepared by means of the pulsed laser deposition method with the Si substrate at different temperatures.In experiments a better crystal quality of Cu-doped ZnO thin film was prepared successfully.The specimens were measured and analyzed by means of Xray diffraction,scanning electron microscopy and photoluminescence spectrum.It was found that the prepared specimens appeared highly c-axis oriented,and the surface morphology of thin film was uniform and dense with the substrate at 300℃.In their photoIuminescence spectrums,besides the peak UV luminescence around 380nm,there was a peak blue light-emitting band around 460nm,which made it possible to emit blue light with ZnO films in practice.The results show that the crystal quality is seriously dependent on the growth temperature.
- thin film /
- Cu-doped ZnO /
- pulsed laser deposition /
- blue light-emitting

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Cu掺杂ZnO薄膜光学性质的研究

通讯作者: 李清山, qsli@du.edu.cn;

作者简介: 于业梅(1980- ),女,硕士研究生,主要从事纳米功能材料与器件的研究.

1. 曲阜师范大学物理工程学院曲阜 273165;
2. 鲁东大学烟台 264025

收稿日期: 2009-06-02
录用日期: 2009-06-25
网络出版日期: 2010-07-25

关键词:

摘要: 为了制备结晶质量好的Cu掺杂ZnO薄膜,研究其结构和光学性质,采用脉冲激光沉积方法,在Si衬底上选择不同的衬底温度来制备薄膜。实验成功制得了结晶质量较好的Cu掺杂ZnO薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光分光光度计对样品进行了测量和分析。所制备的样品均表现出高度的c轴择优取向,衬底温度为300℃时,薄膜表面形貌均匀致密;在样品的光致发光谱中,发现样品除了在380nm附近出现紫外发光峰外,在460nm附近出现了蓝光发光峰,真正意义上实现了ZnO薄膜的蓝光发射。结果表明,衬底温度对其晶体质量有较大影响。