飞秒激光加工不锈钢微型悬臂梁的工艺研究

王英; 李玉华; 王新林; 廖常锐; 陆培祥

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2010.03.017

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飞秒激光加工不锈钢微型悬臂梁的工艺研究

王英 , 李玉华 , 王新林 , 廖常锐 , 陆培祥

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Citation:

飞秒激光加工不锈钢微型悬臂梁的工艺研究

1.
华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室武汉 430074;
2.
南华大学电气工程学院衡阳 421001

作者简介: 王英(1983- ),男,博士研究生,现主要从事超短脉冲激光与物质相互作用、飞秒激光微细加工的研究..

通讯作者: 陆培祥, lup.Eixiang@mail.hust.Edu.cn

中图分类号: TG665;TN249

Study on arts and crafts of stainless steel micro-cantilever prepared with femtosecond laser

1.
Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, School of Optoelectronics Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China;
2.
School of Electrical Engineering, Nanhua University, Hengyang 421001, China

Corresponding author: LU Pei-xiang, lup.Eixiang@mail.hust.Edu.cn

CLC number: TG665;TN249

摘要: 为了研究飞秒激光对不锈钢材料的加工工艺,采用基于飞秒激光材料烧蚀的微细加工方法,深入研究了飞秒激光高效高质量微细加工不锈钢材料的工艺条件与参量优化,并应用于微型不锈钢悬臂梁的制作。分析了激光能量密度、激光扫描速度、重复扫描次数对加工形貌和蚀除速率的影响,制作出了高质量的微米量级的不锈钢微型悬臂梁。结果表明,飞秒激光微细加工是一种极具前途与极具柔性的微机电系统器件加工手段。
- 激光技术 /
- 飞秒激光 /
- 微加工 /
- 微型悬臂梁 /
- 参量优化
Abstract: In order to study the arts and crafts of stainless steel prepared with femtosecond laser,the technical condition and parametric optimization were studied in detail and applied in micromachining the micro-cantilever.The effect of laser fluence,scanning speed and scan times on the morphology of ablated area and ablation rate were analyzed.High quality micro-cantilevers in micrometer level were fabricated.The research shows that femtosecond laser micromachining is a promising and flexible way in micromachining of micro electromechanical devices.
- laser technique /
- femtosecond laser /
- micromachining /
- micro-cantilever /
- parametric optimization

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飞秒激光加工不锈钢微型悬臂梁的工艺研究

通讯作者: 陆培祥, lup.Eixiang@mail.hust.Edu.cn

作者简介: 王英(1983- ),男,博士研究生,现主要从事超短脉冲激光与物质相互作用、飞秒激光微细加工的研究.

1. 华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室武汉 430074;
2. 南华大学电气工程学院衡阳 421001

收稿日期: 2009-05-12
录用日期: 2009-10-26
网络出版日期: 2010-05-25

关键词:

摘要: 为了研究飞秒激光对不锈钢材料的加工工艺,采用基于飞秒激光材料烧蚀的微细加工方法,深入研究了飞秒激光高效高质量微细加工不锈钢材料的工艺条件与参量优化,并应用于微型不锈钢悬臂梁的制作。分析了激光能量密度、激光扫描速度、重复扫描次数对加工形貌和蚀除速率的影响,制作出了高质量的微米量级的不锈钢微型悬臂梁。结果表明,飞秒激光微细加工是一种极具前途与极具柔性的微机电系统器件加工手段。