基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理

赵汝进; 马孜; 姚远程; 何长涛

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基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理

赵汝进 , 马孜 , 姚远程 , 何长涛

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Citation:

基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理

1.
西南科技大学, 信息工程学院, 绵阳, 621002;
2.
西南技术物理研究所, 成都, 610041;
3.
四川大学, 电子信息学院, 成都, 610064

作者简介: 赵汝进(1982- ),男,硕士研究生,研究方向为光学膜厚监控、信号与信息处理..

通讯作者: 马孜, lzmiameisong@yahoo.com ;

中图分类号: O484.4

Monitor signal processing of optic thin film based on generalized Kalman filters

1.
Institute of Information Engineering, University of Southwest Science and Technology, Mianyang 621002, China;
2.
Southwest Institute of Technical Physics, Chengdu 610041, China;
3.
College of Electronic Information, Sichuan University, Chengdu 610064, China

Corresponding author: MA Zi, lzmiameisong@yahoo.com ;

CLC number: O484.4

摘要: 为了解决光学膜厚监控系统中经锁相放大输出的监控信号精度较低、极值点附近变化不灵敏等问题,采用卡尔曼滤波(KF)对光学膜厚监控信号进行处理,建立了针对非线性光学监控系统的扩展KF模型,模型输出包括监控信号和导数信号。仿真分析首先利用TFCalc软件生成4层增透膜理想监控曲线,加入高斯噪声后,信噪比为15dB,通过卡尔曼滤波处理后监控信号信噪比改善达16dB且实时动态跟踪特性良好,延时小于1s;利用平均值滤波处理KF输出导数信号,提前预判读获取导数过零点对应膜厚。同时通过对比TFCalc理想监控曲线极值点坐标和预判导数信号过零点坐标,得到理论膜厚误差小于4nm。此项研究提高了膜厚检测的准确性。
- 薄膜 /
- 卡尔曼滤波 /
- 光学监控 /
- 信噪比
Abstract: In optical monitor system(OMS) for thin film deposition,the film thickness is insensitive to the monitor signal when the signal is near the peak.The accuracy of the monitor system is limited by the noise of the signal.A generalized Kalman filter(KF) was applied to process the monitor signal.Based on nonlinearity of OMS,mathematical model and arithmetic of extend KF was constituted.An ideal monitor curve of 4-layer AR film was generated by TFCalc and mixed with a Gaussian noise.As a result,the signal-to-noise improvement of monitor signal after KF reached 16dB with excellent dynamic tracking characteristic and the delay time was less than 1s.By comparing the theoretic peak coordinates and zero coordinates of first derivative after KF,the calculated thickness error was less than 4nm.The study improves the accuracy of the film thickness detection.
- thin films /
- Kalman filter /
- optical monitor system /
- signal-to-noise ratio(SNR)

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基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理

通讯作者: 马孜, lzmiameisong@yahoo.com;

作者简介: 赵汝进(1982- ),男,硕士研究生,研究方向为光学膜厚监控、信号与信息处理.

1. 西南科技大学, 信息工程学院, 绵阳, 621002;
2. 西南技术物理研究所, 成都, 610041;
3. 四川大学, 电子信息学院, 成都, 610064

收稿日期: 2006-05-18
录用日期: 2006-08-31
网络出版日期: 2007-08-25

关键词:

摘要: 为了解决光学膜厚监控系统中经锁相放大输出的监控信号精度较低、极值点附近变化不灵敏等问题,采用卡尔曼滤波(KF)对光学膜厚监控信号进行处理,建立了针对非线性光学监控系统的扩展KF模型,模型输出包括监控信号和导数信号。仿真分析首先利用TFCalc软件生成4层增透膜理想监控曲线,加入高斯噪声后,信噪比为15dB,通过卡尔曼滤波处理后监控信号信噪比改善达16dB且实时动态跟踪特性良好,延时小于1s;利用平均值滤波处理KF输出导数信号,提前预判读获取导数过零点对应膜厚。同时通过对比TFCalc理想监控曲线极值点坐标和预判导数信号过零点坐标,得到理论膜厚误差小于4nm。此项研究提高了膜厚检测的准确性。