光学薄膜微结构的透射电镜测试

颜清华

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光学薄膜微结构的透射电镜测试

颜清华

文章导航 > 激光技术 > 1987 > 11(5): 20-23

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光学薄膜微结构的透射电镜测试

颜清华

1.
中国科学院成都分院分析测试中心

TEM test of microstructure of optical thin films

Yang Qinghua

1.
Analysis and Testing Center, Chengdu Branch, Academia Sinica

摘要: 本文论述了应用透射电子显微镜技术对光学薄膜的微结构进行测试,并详细叙述了透射电镜的样品制备技术。
Abstract: Application of transmission electron microscope technique to microstructurc test of optical thin films and the preparatory technique of TEM specimen are described.

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