GaN基材料局域光学厚度均匀性的检测方法

陈贵宾

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GaN基材料局域光学厚度均匀性的检测方法

陈贵宾

文章导航 > 激光技术 > 2006 > 30(3): 301-303

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Citation:

GaN基材料局域光学厚度均匀性的检测方法

陈贵宾^,

1.
淮阴师范学院, 物理系, 低维材料化学省重点建设实验室, 淮阴, 223001;
2.
中国科学院, 上海技术物理研究所, 红外物理国家重点实验室, 上海, 200083

作者简介: 陈贵宾(1972- ),男,博士,主要从事光电功能材料生长、器件制备及性能优化等.E-mail:gbchen@mail.sitp.ac.cn.

通讯作者: 陈贵宾, gbchen@mai.lsitp.ac.cn

基金项目:
国家自然科学基金资助项目(10234040);上海市科技攻关计划资助项目(036511008);江苏省高校自然科学研究资助项目(05KJB140038)
中图分类号: TB34

Uniformity test of the local optical thickness for GaN-based material

CHEN Gui-bin^,

1.
Jiangsu Key Laboratory for Chemistry of Low Dimensional Material, Department of Physics, Huaiyin Teachers College, Huaiyin 223001, China;
2.
National Laboratory for Infrared Physics, Shanghai Institute of Technical Physics, the Chinese Academy of Sc

Corresponding author: CHEN Gui-bin, gbchen@mai.lsitp.ac.cn

CLC number: TB34

摘要: 为了表征严重影响材料生长和器件性能均匀性的微米尺度的局域非均匀性,采用非接触、快捷的荧光光谱的测量方法,并经数据处理后直接得到微米量级薄膜光学厚度参数的均匀性。结果表明,拟合后获得的斜率分布均匀性可直接反映材料厚度的均匀性,可为材料生长工艺优化研究提供重要的信息。
- 激光技术 /
- GaN基材料 /
- 局域光学厚度 /
- 荧光光谱
Abstract: Based on the interference signal in the micro-photoluminescence(μ-PL) spectra,a practical method of getting local optical thickness for GaN-based material is presented.By means of analyzing the sequence energy of interference peaks,the optical thickness of the GaN-based films can be determined.The non-uniformity of the fitted parameter can correspondingly show that of the optical thickness.This can give the important information for optimizing the material growth technique.
- laser technique /
- GaN-based material /
- local optical thickness /
- photoluminescence spectra

[1]	LESTER S D,PONCE F A,CRAFORD M G et al.High dislocation densities in high efficiency GaN-based light-emitting diodes[J].A P L,1995,66(10):1249～1251.
[2]	NAKAMURA S,SENOH M,NAGAHAMA S et al.Optical gain and carrier lifetime of InGaN multi-quantum well structure laser diodes[J].A P L,1996,69(11):1568～1570.
[3]	LANG J H,GU B,XU Y et al.The GaN-based semiconductor materials LDs[J].Laser Technology,2003,27(4):321～324(in Chin-ese).
[4]	NAKAMURA S,MUKAI T.High-quality InGaN films grown on GaN films[J].Japan J A P,1992,31(10B):L1457～L1459.
[5]	LI Z L,HU X D,ZHANG B et al.Thin film GaN-based membranes by laser lift-off and cleaved InGaN LD facet[J].Laser Technology,2004,28(1):29～32(in Chinese).
[6]	LI Z Q,CHEN H,LIU H F et al.Photoluminescence study of Si doping cubic GaN grown on (001) GaAs substrates by MBE[J].J Crystal Growth,2001,227～228:420～424.
[7]	RESHCHIKOV M A,HUANG D,YUN F et al.Photoluminescence of GaN grown by molecular-beam epitaxy on a freestanding GaN template[J].A P L,2001,79(23):3779～3781.
[8]	CHEN G B,LU W,MIAO Z L et al.Study on ion-implantation induced intermixing effect of quantum well by using photoluminescence spectroscopy[J].Acta Physica Sinica,2002,51(3):659～662(in Chinese).

[1]	高淑梅 , 兰秀风 , 刘莹 , 沈中华 , 陆建 , 倪晓武 . 不同波长的Ar+激光诱导红细胞荧光光谱特性分析. 激光技术, 2004, 28(3): 312-314,318.
[2]	董高明 , 侯蓝田 , 黄钢 , 胡慧军 , 周桂耀 . Yb3+掺杂硅酸盐激光玻璃的制备及其特性研究. 激光技术, 2011, 35(5): 712-714. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.036
[3]	张咏 , 程瑶 , 闫雨桐 , 陈超 , 陈国庆 . 几种常见食用油加热后荧光光谱特性变化的研究. 激光技术, 2013, 37(1): 109-113. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.027
[4]	高淑梅 , 骆晓森 , 沈建 , 陆建 , 倪晓武 . 407nm辐照激发血细胞荧光光谱分析. 激光技术, 2002, 26(6): 435-438.
[5]	兰秀风 , 刘莹 , 高淑梅 , 沈中华 , 陆建 , 倪晓武 . 乙醇溶液的荧光光谱及其特性的研究. 激光技术, 2003, 27(5): 477-479,483.
[6]	陆俊 , 高淑梅 , 熊婕 , 杨幼益 , 陈国庆 . 女性尿液荧光光谱学特性及机理分析. 激光技术, 2010, 34(1): 45-47,84. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.01.013
[7]	车永莉 , 曹小龙 , 李清山 . 纳米多孔氧化硅的制备及荧光光谱研究. 激光技术, 2008, 32(6): 605-607.
[8]	史院平 , 朱拓 , 陈国庆 , 高淑梅 , 郑磊 , 马超群 . 运用荧光光谱特征参量识别五粮液白酒. 激光技术, 2011, 35(5): 684-687. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.029
[9]	杨之昌 , 吴选红 . 电子束泵浦的KrF激光介质的动力学过程分析. 激光技术, 1994, 18(2): 123-128.
[10]	刘莹 , 兰秀风 , 高淑梅 , 沈中华 , 陆建 , 倪晓武 . 乙酸溶液荧光猝灭的机理研究. 激光技术, 2003, 27(6): 538-540,562.
[11]	赵志 , 钟先琼 , 邹益开 . 石油醚及其橄榄油溶液的荧光特性. 激光技术, 2023, 47(4): 553-557. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.04.017
[12]	韩彩芹 , 刘莹 , 吴斌 , 杨洋 , 骆晓森 , 倪晓武 . 用荧光特征参量分析乙酸-水溶液的结构特性. 激光技术, 2010, 34(5): 640-642,646. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.O5.017
[13]	马海霞 , 楼祺洪 , 漆云凤 , 董景星 , 魏运荣 . Nd：YAG多晶透明陶瓷的光谱性质. 激光技术, 2004, 28(5): 488-490,502.
[14]	杨淑连 . 基于激光光热位移技术纳米材料热扩散率的测量. 激光技术, 2007, 31(1): 29-30.
[15]	王丽 , 王晶 , 胡曙阳 , 周劲峰 , 何士雅 . 长周期光纤光栅用于EDFA的增益平坦展宽. 激光技术, 2004, 28(4): 366-369.
[16]	郎佳红 , 顾彪 , 徐茵 , 秦福文 . GaN基材料半导体激光器综述. 激光技术, 2003, 27(4): 321-324,327.
[17]	于益 , 王卫民 , 鲁燕华 , 谢刚 , 彭跃峰 . 二极管激光光谱合束技术实验研究. 激光技术, 2010, 34(1): 138-140. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.01.039
[18]	庞继伟 , 王超 , 蔡玉奎 . 玻璃材料激光加工技术的研究进展. 激光技术, 2021, 45(4): 417-428. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.04.003
[19]	杨来侠 , 刘旭 , 薛英保 . 糖基材料选择性激光烧结实验研究. 激光技术, 2016, 40(4): 526-530. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.04.015
[20]	张昌春 , 石岩 . 激光熔覆高厚度涂层技术研究现状及发展趋势. 激光技术, 2011, 35(4): 448-452. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.04.004