飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响

于海娟; 李港; 陈檬; 张丙元

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飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响

于海娟 , 李港 , 陈檬 , 张丙元

文章导航 > 激光技术 > 2005 > 29(3): 304-307

引用本文:

Citation:

飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响

1.
北京工业大学, 激光工程研究院, 北京, 100022;
2.
聊城大学, 物理科学与信息工程学院, 聊城, 252059

作者简介: 于海娟(1977- ),女,博士研究生,主要从事激光加工方面的研究工作..

通讯作者: 李港, lig@biut.edu.cn ;

基金项目:
北京市自然科学基金重点资助项目(3021001)
中图分类号: TG665

Effect of femtosecond laser parameters on micromachining process

1.
College of Laser Engineering, Beijing University of Technology, Beijing 100022, China;
2.
College of Physics Science and Information Engineering, Liaocheng University, Liaocheng 252059, China

Corresponding author: LI Gang, lig@biut.edu.cn ;

CLC number: TG665

摘要: 分析了国际上飞秒激光同材料相互作用的实验研究,介绍了飞秒激光加工过程中,各个光参数对加工质量和加工尺寸的影响,针对光参数在飞秒激光加工过程中产生的影响做出了分析。
- 飞秒激光 /
- 微加工 /
- 光参数影响 /
- 烧蚀阈值
Abstract: The research of material processing with femtosecond laser has been performed in many countries.The development of many kinds of material processing with femtosecond laser in the world is introduced and the optical parameters'effect on the micromahining process is analyzed.
- femtosecond laser /
- micromaching /
- optical parameters’ effect /
- ablation threshold

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