薄膜应力激光测量方法分析

王成; 马莹; 张贵彦; 肖孟超; 甘志宏; 缪同群; 钱龙生

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薄膜应力激光测量方法分析

王成 , 马莹 , 张贵彦 , 肖孟超 , 甘志宏 , 缪同群 , 钱龙生

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薄膜应力激光测量方法分析

1.
中国科学院, 长春光学精密机械与物理研究所, 长春, 130022

作者简介: 王成(1977- ),男,博士研究生,现从事光学薄膜、激光技术方面的研究工作.钱龙生,通讯联系人.E-mail:cni863@public.cc.jl.cn;王成(1977- ),男,博士研究生,现从事光学薄膜、激光技术方面的研究工作.钱龙生,通讯联系人.E-mail:cni863@public.cc.jl.cn.

通讯作者: 钱龙生, cni863@public.cc.jl.cn

基金项目:
国家八六三计划资助项目(2001AA312100)
中图分类号: O484.5

Analysis of laser measurement for thin-film stress

1.
Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, the Chinese Academy of Sciences, Changchun 130022, China

Corresponding author: QIAN Long-sheng, cni863@public.cc.jl.cn

CLC number: O484.5

摘要: 总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法———激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度.激光干涉法的精度可达0.92%,可测量的最小应力值为15.7MPa;激光束偏转法较低,为2.12%,可测量的最小应力值为25.5MPa,空间分辨率低,约为100μm.
- 激光 /
- 薄膜 /
- 应力 /
- 测量
Abstract: Various measurements of thin-film stress are summarized. The basic theory and measuring principle of laser macro deformation analysis (including laser interference measurement and laser beam deflexion measurement) that utilized substrate curvature measurement are analyzed; the precision of different measurements is evaluated. The precision of laser interference measurement nearly reaches 0.92% and the least stress that could be measured is 15.7MPa. Compared to laser interference measurement,the precision of laser beam deflexion measurement is low,it is about 2.12%,the least stress which could be measured is 25.5MPa,and space resolution is low as well,which is approximate 100μm.
- laser /
- thin-film /
- stress /
- measurement

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薄膜应力激光测量方法分析

通讯作者: 钱龙生, cni863@public.cc.jl.cn

作者简介: 王成(1977- ),男,博士研究生,现从事光学薄膜、激光技术方面的研究工作.钱龙生,通讯联系人.E-mail:cni863@public.cc.jl.cn;王成(1977- ),男,博士研究生,现从事光学薄膜、激光技术方面的研究工作.钱龙生,通讯联系人.E-mail:cni863@public.cc.jl.cn

1. 中国科学院, 长春光学精密机械与物理研究所, 长春, 130022

收稿日期: 2003-12-31
录用日期: 2004-03-01
网络出版日期: 2005-01-25

基金项目: 国家八六三计划资助项目(2001AA312100)

关键词:

激光 /
薄膜 /
应力 /
测量

摘要: 总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法———激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度.激光干涉法的精度可达0.92%,可测量的最小应力值为15.7MPa;激光束偏转法较低,为2.12%,可测量的最小应力值为25.5MPa,空间分辨率低,约为100μm.