He-Ne拍波激光干涉仪的研究

朱目成; 周肇飞; 张涛

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

He-Ne拍波激光干涉仪的研究

朱目成 , 周肇飞 , 张涛

文章导航 > 激光技术 > 2004 > 28(5): 531-533

引用本文:

Citation:

He-Ne拍波激光干涉仪的研究

1.
四川大学, 激光应用技术研究所, 成都, 610065;
2.
西南科技大学, 制造科学与工程学院, 绵阳, 621010

作者简介: 朱目成(1964- ),男,博士研究生,教授,现从事光电测试技术、传感器技术的研究.E-mail:zmcheng@swust.edu.cn.

基金项目:
国家自然科学基金资助项目(50275101)
中图分类号: TN248.2;TH744.3

Research of the He-Ne laser beat-wave interferometer

1.
Institute of Applied Laser, Sichuan University, Chengdu 610065, China;
2.
College of Manufacturing Science & Engineering, South-west University of Science & Technology, Mianyang 621010, China
CLC number: TN248.2;TH744.3

摘要: 介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频HeNe激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度(室外不低于1×10-7)和强的抗干扰性,拍波频率约为750MHz,拍波长约为400mm。该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验表明,该装置的节点定位精度小于0.05mm,尾数测量部分分辨率为0.08μm,整个测量系统可在20m范围内进行精度为±50μm+1.5×10-6·L(L为被测长度,单位为m)的测量。
- 大尺寸 /
- 双纵模 /
- 节点 /
- 拍波干涉
Abstract: A precision measuring method and device for large size work-piece is presented in the paper.The frequency-stabilized double longitudinal modes He-Ne laser with thermoregulation is used as light source,which has high stability of frequency difference(less than 1×10-7 in the open air) and good anti-disturbance performance that has been proved by theory and experiments.Its beat frequency is about 750MHz and beat wavelength 400mm.The node is used as sampling flag and the beat-wave fringe fraction is measured with double frequency interferometer combined by optical components.The experiments indicate that the accuracy of determining nodes is less than 0.05mm,the resolution for measuring fringe fraction is 0.08μm,the accuracy of the device is ±50μm+1.5×10-6·L(L is the measured distance,unit m)in the range of 20m length.
- large size /
- double longitudinal modes /
- node /
- beat-wave interferometer

[1]

任伟明,梁晋文.大尺寸绝对距离测量发展综述[J].计测技术,1991,10(6):47～53.[2] 邓罗根,田芊.红外拍频锁定型绝对距离干涉仪的研究[J].计量学报,1991,12(4):241～247.[3] 周肇飞.He-Ne激光器的双纵模热稳频系统[J].仪器仪表学报,1988,9(4):374～380.[4] 迟桂纯,周肇飞,周卫东.激光在计量测试中的应用[M].成都:成都科技大学出版社,1994.105～130.[5] ZHOU Zh F,ZHANG T.A precision ranger based on the laser with two longitudinal modes[J].SPIE,1999,2002:1125～1127.

[1]	熊翠秀 . 色散对法布里-珀罗干涉仪纵模间隔的影响. 激光技术, 2015, 39(5): 637-641. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.05.011
[2]	安承武 , 宋文栋 , 陆冬生 , 范永昌 , 李再光 . 激光扫描制备大尺寸超导薄膜的理论分析. 激光技术, 1995, 19(5): 292-295.
[3]	刘毅 , 邱琪 . OBS核心节点中FDL配置方式的研究. 激光技术, 2005, 29(6): 572-574,578.
[4]	张斌 , 马力 , 王鸣 , 贺安之 . 使用双波带板径向剪切干涉仪检测非球面透镜. 激光技术, 2007, 31(1): 37-40,46.
[5]	李远 , 延凤平 , 刘硕 , 白卓娅 . 大模场掺铥光纤增益特性研究. 激光技术, 2018, 42(5): 638-645. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.05.011
[6]	高兴宇 , 陈朋波 , 李明枫 , 叶鹏 , 李明东 . 大视场宽景深双远心系统的设计. 激光技术, 2017, 41(2): 182-186. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.02.007
[7]	董俊 , 邓佩珍 , 张影华 , 刘玉璞 , 徐军 , 陈伟 . Cr, Nd：YAG晶体获得自调Q单纵模激光输出. 激光技术, 2001, 25(3): 203-205.
[8]	杨庆俊译 , 封鸿渊校 . 获得单纵模TEA-CO2激光的各种技术. 激光技术, 1981, 5(2): 34-38.
[9]	张志利 , 孙利群 , 田芊 . 半导体泵浦双向固体环型激光器的单纵模实现. 激光技术, 2003, 27(2): 140-142.
[10]	陈龙辉 , 谢芳 , 郭晓蕾 , 郭哲灿 . 可调谐单纵模多波长光纤激光器的研究. 激光技术, 2021, 45(6): 681-685. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.06.001
[11]	吕欢祝 , 余明芯 , 钟文博 , 张克非 . 大模场低损耗光子晶体光纤的研究与设计. 激光技术, 2021, 45(2): 196-201. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2021.02.012
[12]	李雪 , 韩志刚 , 尹路 , 孟令强 , 朱日宏 . 大模场双包层光纤熔接的功率对准技术研究. 激光技术, 2017, 41(3): 337-341. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.03.007
[13]	陆丹 , 葛廷武 , 伍剑 , 徐坤 , 林金桐 . D形双包层大模场光纤激光偏振特性研究. 激光技术, 2009, 33(5): 509-511. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.05.013
[14]	黄小东 , 张小民 , 李明中 , 王建军 , 张锐 , 赵圣之 , 车雅良 , 许党朋 . 高功率掺Yb3+大模场光纤放大器实验研究. 激光技术, 2009, 33(4): 400-402. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.04.019
[15]	余晓秋 , 李明中 , 王建军 , 耿远超 , 许党朋 , 林宏奂 , 张锐 , 黄小东 . 增益导引折射率反导引大模场光纤激光器特性分析. 激光技术, 2011, 35(1): 25-28,78. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.008
[16]	常青 , 杨冬晓 , 王亮 , 王英 . 大孔径光导天线技术产生太赫兹波的研究. 激光技术, 2006, 30(6): 574-577.
[17]	张玉娇 , 高少华 , 宋筱 , 禹宣伊 , 王佳艺 , 张心正 . 大孔径液晶q波片的制备及性能研究. 激光技术, 2019, 43(4): 442-447. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.04.002
[18]	王少川译 , 封鸿渊校 . 用两镜和三镜腔进行被动模式控制时TEA CO2激光器的纵模纯度. 激光技术, 1985, 9(5): 61-61,65.
[19]	王忠柯 , 董永绵 , 郑启光 , 王涛 , 辜建辉 , 陶星之 , 潘清跃 , 石世宏 . 对称双圆孔傅里叶变换干涉条纹法测焦距. 激光技术, 2001, 25(1): 70-72.
[20]	马骥 , 黄正逸 , 沈小明 , 陈宪锋 . 对称双缺陷光子晶体的缺陷模规律. 激光技术, 2010, 34(3): 398-400,404. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.03.032

点击查看大图

计量

文章访问数: 2802
HTML全文浏览量: 693
PDF下载量: 495
被引次数: 0

He-Ne拍波激光干涉仪的研究

作者简介: 朱目成(1964- ),男,博士研究生,教授,现从事光电测试技术、传感器技术的研究.E-mail:zmcheng@swust.edu.cn

1. 四川大学, 激光应用技术研究所, 成都, 610065;
2. 西南科技大学, 制造科学与工程学院, 绵阳, 621010

收稿日期: 2003-09-11
录用日期: 2003-12-17
网络出版日期: 2004-09-25

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(50275101)

关键词:

大尺寸 /
双纵模 /
节点 /
拍波干涉

摘要: 介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频HeNe激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度(室外不低于1×10-7)和强的抗干扰性,拍波频率约为750MHz,拍波长约为400mm。该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验表明,该装置的节点定位精度小于0.05mm,尾数测量部分分辨率为0.08μm,整个测量系统可在20m范围内进行精度为±50μm+1.5×10-6·L(L为被测长度,单位为m)的测量。