脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜

胡少六; 江超; 何建平; 王又青

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脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜

胡少六 , 江超 , 何建平 , 王又青

文章导航 > 激光技术 > 2004 > 28(5): 463-465,468

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Citation:

脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜

1.
华中科技大学, 激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074;
2.
湖北师范学院, 物理系, 黄石, 435002

作者简介: 胡少六(1957- ),女,工学学士,工程师,现从事脉冲激光沉积薄膜的研究.E-mail:lchwan@hust.edu.cn.

中图分类号: O484

Study on the Al/Ag doping functional gradient thin films deposited by pulsed excimer laser

1.
National Laboratory of Laser Technology, HUST, Wuhan 430074, China;
2.
Department of Physics, Hubei Normal University, Huangshi 435002, China
CLC number: O484

摘要: 为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术,在Si(100)单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜,并采用SEM和XPS对制备的薄膜进行了微观分析。分析结果表明,运用合适的激光参数和辅助放电,在沉积温度300℃时,制备出了Al/Ag组分比近似为5:1的掺杂梯度薄膜。该实验方法说明,利用脉冲激光与金属掺杂靶相互作用沉积梯度金属薄膜是可行的。
- Al/Ag掺杂薄膜 /
- 脉冲激光沉积 /
- 微观分析 /
- 工艺参数
Abstract: Metal gradient thin films have many excellent properties and a wide use.The aim of our research is to find new method and new techniques of preparing metal gradient thin films.Al/Ag doping functional gradient thin films have been successful synthesized on Si (100) substrate by using scanning pulsed excimer laser ablation technique.The structure of Al/Ag thin films deposited by pulsed laser deposition(PLD) is analyzed by scanning electron microscope(SEM),X-ray photoelectron spectroscopy(XPS).The experimental results illustrate that applying appropriate laser parameter and assistant discharge can synthesize the Al/Ag thin films with approximate ratio 5:1 at the 300℃.This experimental method indicates that it is feasible to deposit functional gradient metal thin films by means of the interaction between pulsed laser and metal doping target.
- Al/Ag doping thin films /
- pulsed laser deposition(PLD) /
- micro-structure analysi /
- process parameter

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脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜

作者简介: 胡少六(1957- ),女,工学学士,工程师,现从事脉冲激光沉积薄膜的研究.E-mail:lchwan@hust.edu.cn

1. 华中科技大学, 激光技术国家重点实验室, 武汉, 430074;
2. 湖北师范学院, 物理系, 黄石, 435002

收稿日期: 2003-10-09
录用日期: 2004-04-07
网络出版日期: 2004-09-25

关键词:

摘要: 为了寻找制备梯度金属薄膜的新方法和新工艺,采用脉冲准分子激光扫描沉积技术,在Si(100)单晶衬底上沉积了Al/Ag掺杂功能梯度薄膜,并采用SEM和XPS对制备的薄膜进行了微观分析。分析结果表明,运用合适的激光参数和辅助放电,在沉积温度300℃时,制备出了Al/Ag组分比近似为5:1的掺杂梯度薄膜。该实验方法说明,利用脉冲激光与金属掺杂靶相互作用沉积梯度金属薄膜是可行的。