准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究

章琳; 楼祺洪; 魏运荣; 董景星; 李铁军; 黄峰

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准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究

章琳 , 楼祺洪 , 魏运荣 , 董景星 , 李铁军 , 黄峰

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Citation:

准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究

1.
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海, 201800

作者简介: 章琳,男,1974年出生.光学硕士.现从事激光应用研究..

中图分类号: TN248.5

Micropatterns on polymers etched by excimer lasers

1.
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, the Chinese Academy of Sciences, Shanghai, 201800
CLC number: TN248.5

摘要: 主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺(polyimide,PI)制作微图案实验。通过这种刻蚀方法,成功地在PI上制作了微米量级线宽和亚微米量级深度的图案。
- 紫外准分子激光 /
- 刻蚀 /
- PI /
- 微图形制作
Abstract: In the paper,the experiment with UV excimer laser etching PI for micropatterns is described in detail.With this method,micropatterns with micron scale line width and sub micron depth have been successfully fabricated on PI.
- UV excimer laser /
- etching /
- PI /
- micropattern

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