迈克耳逊激光干涉仪的数字测角技术

王贵甫; 陈桂林; 陈雨良

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

迈克耳逊激光干涉仪的数字测角技术

王贵甫 , 陈桂林 , 陈雨良

文章导航 > 激光技术 > 2001 > 25(5): 338-343

引用本文:

Citation:

迈克耳逊激光干涉仪的数字测角技术

1.
中国科学院上海技术物理研究所上海200083

作者简介: 王贵甫,男,1968年出生.工学硕士,博士研究生.主要从事航天遥感技术的研究工作..

基金项目:
中国科学院创新工程经费资助项目

A digital angle measurement technique based on Michelson interferometer

1.
Shanghai Institute of Technical Physics, The Chinese Academy of Sciences, Shanghai, 200083

摘要: 介绍了一种利用迈克耳逊干涉仪进行精密角度测量的角度测量系统,该系统利用迈克耳逊干涉仪的干涉技术,通过转换将角位移转换为干涉仪可以利用的线位移,并通过专用电路对干涉条纹进行细分、计量,从而实现了对大转角的精密测量。与以往类似系统相比,该系统克服了测量误差随测量角度增大而增大、测量范围小等不足,具有测量精度高、测角范围大、数字化程度高等特点。同时,给出了系统的构成原理、设计注意事项和有关的精度分析。
- 迈克耳逊干涉仪 /
- 激光 /
- 角度 /
- 测量
Abstract: A digital angle measurement technique based on Michelson interferometer is introduced in the paper.Through changing the angular displacement into linear displacement,using special circuits to subdivide and measure the interference pattern,exact measurement for a big angle is realized.Compared with other similar measuring system,this system can be applied to wider-angle measurement with high accuracy.The principle of the system,some special notes and error analysis have been introduced.
- Michelson interferometer /
- laser /
- angle /
- measurement

[1]	朱伯申,张炬.数字式传感器.北京:北京理工大学出版社,1996:242～271
[2]	许开君,李忠波.模拟电子技术.北京:机械工业出版社,1994:110～112
[3]	刘毓兰,赵瑞生.长度计量技术.北京:机械工业出版社,1988:187～189
[4]	吴嘉祥.几何量传感器及其应用.北京:中国计量出版社,1991:110～116

[1]	王成 , 马莹 , 张贵彦 , 肖孟超 , 甘志宏 , 缪同群 , 钱龙生 . 薄膜应力激光测量方法分析. 激光技术, 2005, 29(1): 98-100.
[2]	邓之兵 , 李岩 , 韩艳梅 , 张书练 . 用双折射激光频率分裂原理实现的静态与动态测量方法. 激光技术, 1999, 23(1): 29-33.
[3]	李田泽 , 张静华 . 一种无触点快速测量表面粗糙度的方法. 激光技术, 1998, 22(4): 207-211.
[4]	朱晓 , 杨克成 , 李再光 . 机载激光测深光电倍增管变增益探测方法. 激光技术, 1999, 23(4): 209-212.
[5]	成向阳 , 王骐 , 田兆硕 , 陆威 . 连续和脉冲CO2激光器频率稳定度的测量. 激光技术, 2003, 27(5): 484-485,489.
[6]	郁飞 , 王天荣 , 许勃 . 激光扭振仪调整、应用与误差. 激光技术, 2002, 26(1): 63-65.
[7]	俞元淮 . 激光防护镜光密度的测量. 激光技术, 1997, 21(1): 58-61.
[8]	刘晓兵 , 刘智 , 文捷 , 阮玉 . 激光光斑测量仪. 激光技术, 1995, 19(3): 186-190.
[9]	赵育良 , 许兆林 , 李开端 . 基于CCD的激光微位移测量系统研究. 激光技术, 2003, 27(1): 73-75.
[10]	宗晓斌 , 朱钧 , 李岩 , 张毅 , 张书练 . 基于激光频率分裂的波片位相差测量方法. 激光技术, 2003, 27(4): 293-295,306.
[11]	王挺峰 , 付有余 , 郭劲 , 米阳 . 利用光栅测量远场入射激光波长的方法研究. 激光技术, 2005, 29(2): 156-158.
[12]	周维军 , 袁永华 , 桂元珍 . 激光辐照TiO2/SiO2薄膜损伤时间简捷测量. 激光技术, 2007, 31(4): 381-383.
[13]	李蔚 , 陈五高 . 四种激光针灸仪的性能比较及在临床上的应用. 激光技术, 1995, 19(3): 182-185.
[14]	韩香娥 , 吴振森 , 张向东 . 大粗糙度表面激光散射特性实验研究. 激光技术, 1997, 21(3): 151-155.
[15]	陈军 , 尤政 , 周兆英 . 激光散射理论及其在计量测试中的应用. 激光技术, 1996, 20(6): 359-365.
[16]	王瑞华 , 杨义 . 紫外波段高功率激光能量测量用光吸收器的实验研究. 激光技术, 1994, 18(5): 268-270.
[17]	焦宁 , 连素杰 , 姜爱华 , 王高 , 刘丽双 , 殷军勇 , 闻强 , 郭伟平 . 铅球运动参量光电测试系统设计. 激光技术, 2013, 37(6): 728-730. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.06.005
[18]	王亚伟 , 贺安之 , 刘晓然 . 微粒粒度分布FD测量法的改进. 激光技术, 2001, 25(5): 356-361.
[19]	匡萃方 , 冯其波 , 张志锋 , 刘斌 . 同时测量物体六自由度的方法. 激光技术, 2005, 29(5): 491-493.
[20]	赵明山 , 荆亚玲 , 李艺 , 李国华 . 球面补偿法测量透镜焦距研究. 激光技术, 1995, 19(4): 197-200.

点击查看大图

计量

文章访问数: 2782
HTML全文浏览量: 840
PDF下载量: 430
被引次数: 0

迈克耳逊激光干涉仪的数字测角技术

作者简介: 王贵甫,男,1968年出生.工学硕士,博士研究生.主要从事航天遥感技术的研究工作.

1. 中国科学院上海技术物理研究所上海200083

收稿日期: 2000-09-11
录用日期: 2000-11-15
网络出版日期: 2001-09-25

基金项目: 中国科学院创新工程经费资助项目

关键词:

摘要: 介绍了一种利用迈克耳逊干涉仪进行精密角度测量的角度测量系统,该系统利用迈克耳逊干涉仪的干涉技术,通过转换将角位移转换为干涉仪可以利用的线位移,并通过专用电路对干涉条纹进行细分、计量,从而实现了对大转角的精密测量。与以往类似系统相比,该系统克服了测量误差随测量角度增大而增大、测量范围小等不足,具有测量精度高、测角范围大、数字化程度高等特点。同时,给出了系统的构成原理、设计注意事项和有关的精度分析。