一种无触点快速测量表面粗糙度的方法

李田泽; 张静华

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

一种无触点快速测量表面粗糙度的方法

李田泽 , 张静华

文章导航 > 激光技术 > 1998 > 22(4): 207-211

引用本文:

Citation:

一种无触点快速测量表面粗糙度的方法

李田泽¹,
张静华²

1.
山东工程学院, 淄博, 255012;
2.
山东淄博师专, 淄博, 255013

作者简介: 李田泽,男,1962年12月出生.硕士,副教授.现主要从事无损光电检测,激光技术等方面的研究工作..

A new method for noncontact rapid measurement of surface roughness

Li Tianze¹,
Zhang Jinghua²

1.
Shandong Institute of Technology, Zibo, 255012;
2.
Zibo Teacher's College, Zibo, 255013

摘要: 提出一种使用激光束快速测量表面粗糙度的无触点光学方法。一束照射在样品表面的激光束随着表面粗糙度的增大反射光的密度分布将被扩展,可用PCD测出从铝制样品表面反射光的密度分布。被反射光的密度曲线可通过高斯函数近似地求出。密度分布曲线的宽度由高斯曲线系数的标准差计算出来,此标准差近似等于密度曲线的高斯函数的标准差,密度曲线的中线平均粗糙度随着高斯曲线系数的增加而增加。粗糙度Ra在0.1～0.5μm的范围内,可利用实验公式Ra=0.088GCP+0.032通过测量GCP得到。
- 激光 /
- 表面粗糙度 /
- 光学探测器 /
- 测量 /
- 无损实验 /
- 计算机控制
Abstract: An optical detection technique for rapid measurement of surface roughness by using a laser beam is proposed.When a laser beam illuminate on the surface of a aluminum specimen,the space distribution of the reflected light intensity will be the function of the roughness of the surface of the specimen.And the intensity distribution can be measured with a plasma coupled device (PCD) and approximately expressed with Gaussian function.The broadness of the intensity distribution curve can be evaluated with standard deviation called Gaussian curve parameter (GCP).We find a experimental equation Ra=0.088GCP+0.032 to show the relationship between center line average roughness Ra and GCP in range of 0.1～0.5μm.
- laser /
- surface roughness /
- optical sensor /
- measurement nondestructive test /
- computer /
- control

[1]	Azushim a A,Kishi T,Miyagawa M.J JST P,1984;25(284):765
[2]	Adachi M,Inari T,Kamei M.Trans of Soc of Instrument&Control Engineers,1984;20(6):536
[3]	Kurita M.J JST P,1985;26(295):869
[4]	Kurita M.Advances in x-Ray Analysis,1988;31:277
[5]	Kurita M.N DT International,1987;20(5):277
[6]	Kurita M.Advances in x-Ray Analysis,1989;32:377
[7]	Kurita M,Ihara I,Ono N.Advances in x-Ray Analysis,1989;32:459

[1]	欧阳忠 , 彭文基 , 李庆行 , 余振新 . IBMPC/XT计算机控制精密光学自相关器和实验数据采集与处理自动化系统. 激光技术, 1994, 18(5): 313-316.
[2]	陈晨 , 郭晓明 , 马军 , 王文生 . 基于激光散斑角度相关法表面粗糙度测量. 激光技术, 2015, 39(4): 497-500. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.04.015
[3]	刘鸣 , 陈兴梧 , 闫运 . 计算机控制下的多路激光束合成系统. 激光技术, 2003, 27(5): 398-399.
[4]	null , . 电子调制的激光相干粗糙度测量技术研究. 激光技术, 2016, 40(3): 447-450. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.03.031
[5]	成向阳 , 王骐 , 田兆硕 , 陆威 . 连续和脉冲CO2激光器频率稳定度的测量. 激光技术, 2003, 27(5): 484-485,489.
[6]	韩香娥 , 吴振森 , 张向东 . 大粗糙度表面激光散射特性实验研究. 激光技术, 1997, 21(3): 151-155.
[7]	朱晓 , 杨克成 , 李再光 . 机载激光测深光电倍增管变增益探测方法. 激光技术, 1999, 23(4): 209-212.
[8]	刘睿诚 , 杨永强 , 王迪 . 选区激光熔化成型金属零件上表面粗糙度的研究. 激光技术, 2013, 37(4): 425-430. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.04.003
[9]	王成 , 马莹 , 张贵彦 , 肖孟超 , 甘志宏 , 缪同群 , 钱龙生 . 薄膜应力激光测量方法分析. 激光技术, 2005, 29(1): 98-100.
[10]	邓之兵 , 李岩 , 韩艳梅 , 张书练 . 用双折射激光频率分裂原理实现的静态与动态测量方法. 激光技术, 1999, 23(1): 29-33.
[11]	赵建军 , 侯彦东 . 基于激光技术的高炮射击训练模拟系统. 激光技术, 2003, 27(6): 567-568,571.
[12]	王贵甫 , 陈桂林 , 陈雨良 . 迈克耳逊激光干涉仪的数字测角技术. 激光技术, 2001, 25(5): 338-343.
[13]	王瑞华 , 杨义 . 紫外波段高功率激光能量测量用光吸收器的实验研究. 激光技术, 1994, 18(5): 268-270.
[14]	匡萃方 , 冯其波 , 张志锋 , 刘斌 . 同时测量物体六自由度的方法. 激光技术, 2005, 29(5): 491-493.
[15]	卢益民 , 张峰 , 陈文革 . 激光水下目标探测系统中的PMT变增益控制. 激光技术, 1995, 19(4): 222-226.
[16]	俞元淮 . 激光防护镜光密度的测量. 激光技术, 1997, 21(1): 58-61.
[17]	刘晓兵 , 刘智 , 文捷 , 阮玉 . 激光光斑测量仪. 激光技术, 1995, 19(3): 186-190.
[18]	张辉 , 桑胜波 , 菅傲群 , 段倩倩 , 张文栋 . SOI纳米光波导表面粗糙度的研究进展. 激光技术, 2017, 41(3): 367-375. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.03.013
[19]	王建华 , 陈俊 , 陈义良 . 利用PSD传感器元件测量湍流密度场. 激光技术, 1999, 23(3): 162-165.
[20]	朱鹏飞 , 孟绍贤 , 谢兴龙 , 林尊琪 . 光学玻璃材料的破坏和折射率变化的测量研究. 激光技术, 2001, 25(2): 105-108.

点击查看大图

计量

文章访问数: 2871
HTML全文浏览量: 700
PDF下载量: 415
被引次数: 0

一种无触点快速测量表面粗糙度的方法

李田泽¹
张静华²

作者简介: 李田泽,男,1962年12月出生.硕士,副教授.现主要从事无损光电检测,激光技术等方面的研究工作.

1. 山东工程学院, 淄博, 255012;
2. 山东淄博师专, 淄博, 255013

收稿日期: 1996-10-28
录用日期: 1997-04-19
网络出版日期: 1998-07-25

关键词:

摘要: 提出一种使用激光束快速测量表面粗糙度的无触点光学方法。一束照射在样品表面的激光束随着表面粗糙度的增大反射光的密度分布将被扩展,可用PCD测出从铝制样品表面反射光的密度分布。被反射光的密度曲线可通过高斯函数近似地求出。密度分布曲线的宽度由高斯曲线系数的标准差计算出来,此标准差近似等于密度曲线的高斯函数的标准差,密度曲线的中线平均粗糙度随着高斯曲线系数的增加而增加。粗糙度Ra在0.1～0.5μm的范围内,可利用实验公式Ra=0.088GCP+0.032通过测量GCP得到。