Ar+激光器用于电阻微调的研究

秦水介; 张正平

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Ar+激光器用于电阻微调的研究

秦水介 , 张正平

文章导航 > 激光技术 > 1997 > 21(3): 178-181

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Ar+激光器用于电阻微调的研究

1.
贵州大学物理系, 贵阳, 550025

作者简介: 秦水介,女,1963年10月出生.讲师,系副主任.近年来从事近代光学及激光应用等方面的教学和研究工作..

Utilization of Ar+ laser for resistance trimming

1.
Department of Physics, Guizhou University, Guiyang, 550025

摘要: 本文讨论并研究了Ar+激光器用于电阻微调的优越性。结果表明,在比常用的Nd:YAG激光功率小得多的情况下,可得到与之相当的刻线宽度和阻值稳定性。
- Ar~＋激光器 /
- 电阻微调
Abstract: The resistance trimming often use a CO2 laser or Nd:YAG laser as a light source.And the Ar+ laser has shorter wavelength than Nd:YAG and CO2 laser.The reflection index of melt film is smaller for 514.5nm wavelength and it is easy to build a better optical system to provide precise resistance trimming.This paper described the trimming system and summarized much practical data.
- Ar+ laser /
- resistance trimming

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