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带磁开关的冲击-自持脉冲放电技术及其应用

周卫东 余吟山

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带磁开关的冲击-自持脉冲放电技术及其应用

    作者简介: 周卫东(附照片),男,1966年9月出生.研究生.现从事高功率准分子激光技术的研究;余吟山,男,1945年出生.研究员.长期从事光电子技术科学的研究工作,目前主要从事准分子激光器件及其应用的研究.;周卫东(附照片),男,1966年9月出生.研究生.现从事高功率准分子激光技术的研究;余吟山,男,1945年出生.研究员.长期从事光电子技术科学的研究工作,目前主要从事准分子激光器件及其应用的研究..
  • 基金项目:

Magnetic-spiker-sustainer excitation technology and uses in excimer laser

  • Fund Project:

  • 摘要: 本文通过对带磁开关的冲击-自持脉冲放电电路放电过程的分析,指出了该电路在激发准分子激光时的优点,在考虑准分子激光形成过程特点的基础上,进一步指出了利用该电路有利于制成高效率、高功率、长脉冲准分子激光器件.
  • [1]

    Reilly J P.J A P,1972;43:3411
    [2]

    Hill A E.A P L,1973;22:670
    [3]

    Long W H,Plumm er M J,St eappeares E A.A P L,1983;43:735
    [4]

    Tayor R S,Leopold K E.A P L,1985;46:335
    [5]

    Fisher C F,K ushner M J,Dehart T E et al.A P L,1986;48:1574
    [6]

    Gerritsen J W,Keet A L,Ernst G J et al.J A P,1990;67(7):3517
    [7]

    Efimovskii S V,Brown A J W,Sergoyan E G et al.IEE E Photonics Technol Lett,1991;3:433
    [8]

    Sato Y,Lnoue M,Haruta K et al.A P L,1994;64(6):679
    [9]

    Taylor R S,Leopold K E.J A P,1989;65(1):22
    [10]

    Weeks R W,Donaldson M,M ckee T J et al.Conference on Lasers and Electro-Optics.1986,Technical Digest Optical Society of America,Washington DC.1986:144
    [11]

    Taylor R S.Appl Phys,1986;B41:1
    [12]

    Taylor R S,Leopold K E.A P L,1983;47:81
  • [1] 厉彦超游利兵王庆胜余吟山方晓东 . 准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究. 激光技术, 2013, 37(6): 803-807. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.06.022
    [2] 魏仁选 . 准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究. 激光技术, 2004, 28(1): 85-87.
    [3] 赵家敏高健梁勖王效顺游利兵王庆胜余吟山方晓东 . 双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究. 激光技术, 2013, 37(1): 97-100. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.024
    [4] 叶震寰楼祺洪李红霞董景星魏运荣 . 准分子激光光束均匀技术. 激光技术, 2005, 29(2): 207-209,212.
    [5] 郭商勇陈涛刘世炳 . 提高准分子激光打孔质量的方法研究. 激光技术, 2006, 30(6): 625-627.
    [6] 宋登元 . ArF准分子激光光刻的研究现状. 激光技术, 1999, 23(5): 288-291.
    [7] 林振能沈建新廖文和 . 193nm准分子激光切削角膜的研究. 激光技术, 2003, 27(6): 510-513.
    [8] 柳海鹏周月豪熊良才史铁林 . 准分子激光直刻横向影响区实验研究. 激光技术, 2005, 29(2): 132-134.
    [9] 陈星游利兵代甜甜王宏伟杨礼昭程超方晓东 . 308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究. 激光技术, 2020, 44(1): 100-107. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.01.018
    [10] 邓国庆朱志强余吟山 . C→A跃迁准分子激光阈值条件的研究. 激光技术, 2005, 29(5): 466-469.
    [11] 曹正林沈建新廖文和 . 准分子激光切削角膜与飞点扫描算法的研究. 激光技术, 2006, 30(6): 631-635.
    [12] 龙芋宏熊良才史铁林 . 水辅助准分子激光微加工硅的实验研究. 激光技术, 2006, 30(6): 567-569.
    [13] 邓国庆余吟山 . 准分子激光屈光矫正系统及实验研究. 激光技术, 2005, 29(4): 417-419,448.
    [14] 龙芋宏熊良才史铁林柳海鹏 . 准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究. 激光技术, 2006, 30(3): 235-237.
    [15] 谭东晖陆冬生宋文栋范永昌安承武 . 准分子激光直接清洗硅片上油脂的实验研究. 激光技术, 1995, 19(5): 319-310.
    [16] 赵读亮梁勖方晓东 . 电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制. 激光技术, 2017, 41(4): 484-488. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.04.005
    [17] 邓国庆刘勇贺龙海崔卫华 . 小型化准分子激光器气体性能的优化. 激光技术, 2010, 34(4): 529-531,551. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.026
    [18] 钱晓峰陈涛祁恒 . 准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究. 激光技术, 2007, 31(3): 262-264.
    [19] 李呈德陈涛万盈左铁钏 . LPX305iF型准分子激光光束质量诊断. 激光技术, 2000, 24(3): 155-157.
    [20] 文小明史明霞杨雪玲 . 准分子激光对钛搪瓷打标的研究. 激光技术, 2000, 24(1): 9-11.
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-10-30
  • 录用日期:  1996-03-12
  • 刊出日期:  1997-03-25

带磁开关的冲击-自持脉冲放电技术及其应用

    作者简介: 周卫东(附照片),男,1966年9月出生.研究生.现从事高功率准分子激光技术的研究;余吟山,男,1945年出生.研究员.长期从事光电子技术科学的研究工作,目前主要从事准分子激光器件及其应用的研究.;周卫东(附照片),男,1966年9月出生.研究生.现从事高功率准分子激光技术的研究;余吟山,男,1945年出生.研究员.长期从事光电子技术科学的研究工作,目前主要从事准分子激光器件及其应用的研究.
  • 1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥, 230031
基金项目: 

摘要: 本文通过对带磁开关的冲击-自持脉冲放电电路放电过程的分析,指出了该电路在激发准分子激光时的优点,在考虑准分子激光形成过程特点的基础上,进一步指出了利用该电路有利于制成高效率、高功率、长脉冲准分子激光器件.

English Abstract

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