多层介质光学膜系的误差分析——膜层厚度变化的灵敏度因子

范志刚; 张伟; 李以贵; 吕春华

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多层介质光学膜系的误差分析——膜层厚度变化的灵敏度因子

范志刚 , 张伟 , 李以贵 , 吕春华

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多层介质光学膜系的误差分析——膜层厚度变化的灵敏度因子

1.
哈尔滨工业大学航天工程与力学系, 哈尔滨, 150001

作者简介: 范志刚,男,1966年4月出生.硕士,讲师.主要从事光学薄膜微观结构,膜系设计及测量等方面的研究工作..

Error analysis of dielectric optical multilayer variation of sensitivity factor with layer thickness

1.
Dept. of Space Engeering and Mechnics, HIT

摘要: 文中推导了对于给定膜系的特定膜层的厚度变化的灵敏度因子计算公式，并给出了用计算机对不同膜系的计算实例。分析了厚度灵敏度因子对膜系透射光谱的灵敏谱段、灵敏膜层等特性的影响规律，并由此给出了确定膜层厚度允差的方法。
- 多层膜系 /
- 透射光谱 /
- 厚度灵敏度因子
Abstract: The formulas of sensitivity factor varied with the thickness of specific layer of a multila yer is derived in this paper.The examples of different multilayers are given,the influence of thickness sensitivity factor on the sensitive spectrum and layer of transmittance are analysed.Finally,a method of defining thickness allowable error is given.
- multilayer /
- transmittance /
- thickness sensitivity factor

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