用准分子激光CVD制作SnO2微透镜及其阵列的技术研究

王庆亚; 马力; 赵方海; 郑伟; 张玉书; 高鼎三

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用准分子激光CVD制作SnO2微透镜及其阵列的技术研究

王庆亚 , 马力 , 赵方海 , 郑伟 , 张玉书 , 高鼎三

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用准分子激光CVD制作SnO2微透镜及其阵列的技术研究

1.
吉林大学, 电子工程系, 集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区, 长春, 130023

作者简介: 王庆亚(附照片),男,1968年9月生。博士,讲师。现从事准分子激光CVD等领域的研究工作；张玉书,男,1938年6月生。教授。现主要从事准分子激光微细加工技术研究工作。;王庆亚(附照片),男,1968年9月生。博士,讲师。现从事准分子激光CVD等领域的研究工作；张玉书,男,1938年6月生。教授。现主要从事准分子激光微细加工技术研究工作。.

Study on the fabrication technology of SnO2 microlens and its array by using excimer laser-CVD technique

1.
Dept. of Electronic & Engineering, Jilin University, Jilin Univ.Division of integrated Optoelectronics Union Lab

摘要: 本文利用准分子激光CVD技术以液态SnCl4和氧气为源制出了半径45μm的SnO2薄膜微透镜及微透镜阵列。并从反应机制和生长规律出发对这一生长技术特点和前景进行了阐述。
- 准分子激光CVD /
- 微透镜 /
- 微透镜阵列
Abstract: Here we fabricate a microlens with 45μm radius and its array with liquid SnCl4 and oxygen as the sources by using excimer laser CVD technique. Acording to its growing mechanism and growing law,we also show the characteristics and the prospects of this technology.
- excimer laser-CVD /
- microlens /
- microlens array

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用准分子激光CVD制作SnO2微透镜及其阵列的技术研究

作者简介: 王庆亚(附照片),男,1968年9月生。博士,讲师。现从事准分子激光CVD等领域的研究工作；张玉书,男,1938年6月生。教授。现主要从事准分子激光微细加工技术研究工作。;王庆亚(附照片),男,1968年9月生。博士,讲师。现从事准分子激光CVD等领域的研究工作；张玉书,男,1938年6月生。教授。现主要从事准分子激光微细加工技术研究工作。

1. 吉林大学, 电子工程系, 集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区, 长春, 130023

收稿日期: 1995-03-10
录用日期: 1995-12-26
网络出版日期: 1996-05-25

关键词:

摘要: 本文利用准分子激光CVD技术以液态SnCl4和氧气为源制出了半径45μm的SnO2薄膜微透镜及微透镜阵列。并从反应机制和生长规律出发对这一生长技术特点和前景进行了阐述。

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