补偿式光纤双法布里－珀罗微位移测量系统

朱若谷

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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补偿式光纤双法布里－珀罗微位移测量系统

朱若谷

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补偿式光纤双法布里－珀罗微位移测量系统

朱若谷

1.
中国计量学院, 杭州, 310012

作者简介: 朱若谷,男,1946年出生.副教授.从事激光应用技术及新型传感器研究..

Compensated optical fibre double Fabry-Perot system for measuring micro-displacement

Zhu Ruogu

1.
China Institute of Metrology

摘要: 本文提出一种能补偿环境影响的,插入光纤传光介质的新型微位移测量系统和灵敏度阈的实验结果.由于采用平行双通道的结构,系统具有高精度、抗干扰的补偿法特点.该系统适合于微位移(纳米级)测量,可用于检定其它高精度位移传感器,几何量计量中定位,微细加工表面轮廓测量以及可以转换成微位移量或光程差的其它物理量测量中.
- 补偿 /
- 双法布里－珀罗干涉仪 /
- 微位移测量
Abstract: A new double Fabry-Perot interferometer system with optical fibre for measuring micro-displacement and experiment study about its sensitivity threshold has been introduced in this paper.This system has the characteristics of high accuracy,interference-free compensation due to parallel double-channel configuration.Meanwhile the system may be suitable for accurate measurement of micro-displacement,such as calibration of displacement sensors,location in geometrical metrology,and for measurement of topography of fine manufactured surfaces and other physical quantities which could be transferred into displacement or optical path difference.
- compensation /
- double Fabry-Perot interferometer /
- micro-displacement measurement

[1]	张晓青 , 贾豫东 , 曹文娟 . 相位凝固技术中干涉信号调制解调误差分析. 激光技术, 2015, 39(4): 501-505. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.04.016
[2]	曹育良 , 韩家广 , 熊显名 . 光纤位移传感器在PET瓶胚壁厚测量中的应用研究. 激光技术, 2018, 42(6): 817-821. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.06.017
[3]	王润轩 . 预啁啾对偏复用孤子技术的补偿. 激光技术, 2005, 29(3): 315-317,321.
[4]	王晶 , 苗洪利 . 在线同步调制对偏振模色散补偿的研究. 激光技术, 2002, 26(3): 211-213.
[5]	莫长涛 , 陈长征 , 张黎丽 , 孙凤久 . 神经网络在光电位置坐标传感器中的应用. 激光技术, 2003, 27(6): 594-596.
[6]	王其华 , 叶苗 . 基于裂变自举粒子滤波的红外目标跟踪处理. 激光技术, 2011, 35(1): 141-144. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.038
[7]	熊翠秀 . 色散对法布里-珀罗干涉仪纵模间隔的影响. 激光技术, 2015, 39(5): 637-641. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.05.011
[8]	安毅译 , 刘建卿校 . 使用法布里-珀罗干涉仪的准外差光纤温度计. 激光技术, 1989, 13(1): 59-61.
[9]	何兆麟 . 反射膜厚度的不均匀性对法布里-珀罗干涉仪平板面形的影响. 激光技术, 1984, 8(5): 28-32.
[10]	李振有 , 禹延光 , 叶会英 . 基于适度光反馈自混合干涉技术的微位移测量. 激光技术, 2008, 32(5): 499-501,516.
[11]	周春花 , 张婷婷 , 翟爱平 , 王文杰 . 基于法布里-珀罗微腔的光微流FRET激光产生. 激光技术, 2017, 41(1): 14-18. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.01.004
[12]	赵明山 , 荆亚玲 , 李艺 , 李国华 . 球面补偿法测量透镜焦距研究. 激光技术, 1995, 19(4): 197-200.
[13]	陈本永 , 朱若谷 , 吴昭同 . 激光双法-珀干涉纳米测量系统总体设计. 激光技术, 2000, 24(6): 379-384.
[14]	何建平 , 周智 , 吴源华 , 欧进萍 . 光纤布里渊与布喇格光栅共线技术的温度互补偿. 激光技术, 2010, 34(1): 13-16. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.01.004
[15]	王国超 , 颜树华 , 高雷 , 谢学东 , 田震 . 光栅干涉位移测量技术发展综述. 激光技术, 2010, 34(5): 661-664,716. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.O5.023
[16]	赵育良 , 许兆林 , 李开端 . 基于CCD的激光微位移测量系统研究. 激光技术, 2003, 27(1): 73-75.
[17]	赵贤凌 , 刘建生 , 张华煜 , 武迎春 . 投影仪标定中的相位误差补偿. 激光技术, 2017, 41(5): 697-702. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.05.016
[18]	刘敏 , 张勇 , 孙皆宜 . 含补偿腔的自混合干涉效应研究. 激光技术, 2010, 34(2): 206-209. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.02.017
[19]	王润轩 . 色散补偿双芯光子晶体光纤的数值研究. 激光技术, 2008, 32(6): 576-578,589.
[20]	武勇军 , 李达成 . 电调频半导体激光绝对测量干涉仪. 激光技术, 1996, 20(5): 298-300.

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补偿式光纤双法布里－珀罗微位移测量系统

朱若谷

作者简介: 朱若谷,男,1946年出生.副教授.从事激光应用技术及新型传感器研究.

1. 中国计量学院, 杭州, 310012

收稿日期: 1993-03-19
录用日期: 1993-08-30
网络出版日期: 1994-01-25

关键词:

摘要: 本文提出一种能补偿环境影响的,插入光纤传光介质的新型微位移测量系统和灵敏度阈的实验结果.由于采用平行双通道的结构,系统具有高精度、抗干扰的补偿法特点.该系统适合于微位移(纳米级)测量,可用于检定其它高精度位移传感器,几何量计量中定位,微细加工表面轮廓测量以及可以转换成微位移量或光程差的其它物理量测量中.