用激光干涉法实时监控同轴磁控溅射ZnO薄膜的厚度

谢克诚

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用激光干涉法实时监控同轴磁控溅射ZnO薄膜的厚度

谢克诚

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用激光干涉法实时监控同轴磁控溅射ZnO薄膜的厚度

谢克诚

1.
四川压电与声光技术研究所永川

作者简介: 谢克诚,男,1953年10月出生.工程师.现从事光学分析等工作..

Real-time monitoring the thickness of ZnO film in isoaxis magnetron sputtering using laser interferometry

Xie Kecheng

1.
Sichuan Institute of Piezoelectric and Acousto-Optic Technology

摘要: 本文介绍了一种在我所生产的TCJ-300型同轴磁控溅射设备上采用激光实时监控ZnO薄膜厚度的方法.实验结果表明,该方法与其它膜厚监控方法相比较具有多种优点:它可以在溅射过程中实时显示薄膜的厚度、均匀性和溅射速率等;本实验装置简单;操作方便;其监控精度优于1.5%.
Abstract: this paper presents a new method of real-time monitoring the thickness of ZnO film in isoaxis magnetron sputtering device with laser.TCJ-300 type isoaxis magnetron sputter machine is made in our institute.The experimental results show that this method has more adwantages than other methods of monitoring film thickness have.It can show the homogeneity and the thickness of the film as well as the sputtering velocity in process of sputtering.The experimental set and its operation are simple.The monitoring accuracy of the thick of film is better than 1.5%.

[1]	Xie Kecheng,International Conference on Optoelectronic Scienceand Engineering,ICOESE '90,Beijing China,August 1990,Washington USA:SPIE,1990:443-444
[2]	Macleod H A,Appl Opt,1981;20 (1):82-89
[3]	Schiller S,Heisig U,Goedicke K.Thin Solid Films,19781 54(1):33
[4]	Van Vouros T.Opt Spectra,1977,11:30

[1]	曹鸿 , 张传军 , 王善力 , 褚君浩 . 磁控溅射制备Zr膜的应力研究. 激光技术, 2012, 36(6): 742-744. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.008
[2]	浦树德译 , 汪建设校 . 溅射薄膜的特点. 激光技术, 1985, 9(6): 17-22.
[3]	丁方译 , 黄君兰校 . 真空镀制干涉薄膜时监控片高度的计算. 激光技术, 1983, 7(3): 35-36.
[4]	郝正福译 , 时顺森 , 屈乾华校 . 用干涉法测量固体激光器激活介质的热透镜焦距. 激光技术, 1979, 3(4): 71-72.
[5]	朱琼玉 , 吴松坪 , 胡伦骥 , 王春明 . CO2激光焊接拼缝间隙缺陷的同轴实时监测. 激光技术, 2006, 30(5): 455-457,461.
[6]	苗润才 , 朱峰 . 激光衍射法测量液体薄膜厚度的研究. 激光技术, 2007, 31(5): 537-539.
[7]	胡春香 , 陶向阳 , 叶志清 , 饶丰 . 脉冲激光制备ZnO薄膜烧蚀过程中的温度演化. 激光技术, 2007, 31(6): 646-648.
[8]	于业梅 , 李清山 , 李新坤 , 徐言东 , 蒙岩峰 . Cu掺杂ZnO薄膜光学性质的研究. 激光技术, 2010, 34(4): 456-458,528. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.007
[9]	张晓晖 , 陈清明 , 朱伟民 , 汤炜 , 杨光 . 一种提高极值法监控精度的方法. 激光技术, 2001, 25(5): 386-390.
[10]	唐朝伟 , 邵艳清 , 何国田 , 张鹏 , 张旭详 , 赵丽娟 , 傅明怡 . 双折射晶体厚度干涉测量技术的研究. 激光技术, 2008, 32(5): 521-522,530.
[11]	解晓君 , 李清山 , 董艳锋 , 赵涛 . Eu3+,Li+共掺杂ZnO薄膜结构与发光性质的研究. 激光技术, 2011, 35(1): 15-18. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.005
[12]	赵涛 , 李清山 , 董艳锋 , 张立春 , 解晓君 . 氧压对PLD制备掺铜ZnO薄膜光学性质的影响. 激光技术, 2011, 35(6): 781-783,799. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.06.016
[13]	肖明海 . 透明介质厚度的散斑法测量. 激光技术, 1989, 13(3): 52-56.
[14]	王亚伟 . 一种激光散斑法实时测量表面粗糙度的新方法. 激光技术, 1993, 17(3): 150-153.
[15]	宋正方 . 干涉法测量中的信噪比. 激光技术, 1993, 17(3): 163-167.
[16]	罗定威译 , 古鸿仁校 . 用焦斑法测量激光辐射发散角的误差. 激光技术, 1984, 8(4): 41-43.
[17]	蔡永鑫 . 用变孔法测散装置测量激光天线的应用性能. 激光技术, 1981, 5(4): 27-32.
[18]	薛焕然 , 张耀宁 , 龚志伟 , 丘军林 . 用辐射测量法研究CuⅡ激光振荡的增益特性. 激光技术, 1988, 12(1): 9-14.
[19]	里佐威 , 韩玉华 , 裴力 , 高淑琴 , 吴晓俐 . 光纤干涉法监测He-Ne激光器的频率漂移. 激光技术, 1991, 15(3): 142-144.
[20]	赵云凤 , 王小燕 . 双端固定桥受载的激光全息干涉法动物模型研究. 激光技术, 1992, 16(6): 369-374.