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一种破坏薄膜微柱状结构的镀膜方法:计算机模拟与机理分析

张伟 苌国强

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一种破坏薄膜微柱状结构的镀膜方法:计算机模拟与机理分析

A coating method of destroying the column structure of the thin films:computer simulation and analysis of the mechanism

  • 摘要: 提出一种基于在0°~180°范围内连续改变沉积膜的蒸发角的方法,利用这种方法可以破坏真空沉积薄膜的典型柱状结构,从而使沉积膜的结构接近大块材料的结构.本文给出了这种结构膜的生长公式,并计算与摸拟了这时薄膜的微观结构,同时分析了由于这种结构而使薄膜具有良好特性的机理.
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-09-04
  • 刊出日期:  1990-01-25

一种破坏薄膜微柱状结构的镀膜方法:计算机模拟与机理分析

  • 1. 哈尔滨工业大学 哈尔滨

摘要: 提出一种基于在0°~180°范围内连续改变沉积膜的蒸发角的方法,利用这种方法可以破坏真空沉积薄膜的典型柱状结构,从而使沉积膜的结构接近大块材料的结构.本文给出了这种结构膜的生长公式,并计算与摸拟了这时薄膜的微观结构,同时分析了由于这种结构而使薄膜具有良好特性的机理.

English Abstract

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