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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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一次充气的ArF准分子激光器发射了7千5百万次脉冲

卢中尧译 封鸿渊校

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一次充气的ArF准分子激光器发射了7千5百万次脉冲

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出版历程
  • 刊出日期:  1990-01-25

一次充气的ArF准分子激光器发射了7千5百万次脉冲

  • 1. 

摘要: 加拿大安大略省卡纳塔的Lumonics公司研制了一种新型准分子激光器,创造了ArF气体寿命的纪录.600型准分子激光器用冷冻气体处理机运转,创造了一次充气后发射7千5百n万次脉冲的纪录.

English Abstract

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